实验室混气系统：三路质子气体流量控制器

实验室混气系统：三路质子气体流量控制器

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-09-15 19:02:50
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洛阳西格马高温电炉有限公司

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产品简介

三路质子实验室混气系统三路质子流量控制器主要用于实验室气体流量测试,并按比例混合气体,为实验室管式炉或手套箱等其他特定容器营造特定要求的气氛环境

详细介绍

三路质子气体流量控制器

三路质子实验室混气系统

三路质子流量控制器主要用于实验室气体流量测试,并按比例混合气体,为实验室管式炉或手套箱等其他特定容器营造特定要求的气氛环境.该气体流量控制器可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.三路质子气体配比器气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.

应用范围：1.半导体制造行业中气体流量控制2.各种真空镀膜设备3.材料表面处理4.气体燃烧控制5.混和配气系统6.环境检测与分析设备7.分析仪器的气体流量计量与控制8.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所

技术参数

电炉名称 三路质子气体流量控制器
流量计类型 质子流量计
流量计管芯 304不锈钢
调节阀类型 电磁调节阀
管道常态 常闭
流量计外壳 黑色铝壳
气体种类 3种
接口尺寸 1/4"
测量精度 ±1.0%F.S
线性度 ±0.5%F.S
重复精度 ±0.2%F.S
压力范围 -0.1-0.15MPa
A路气体测量范围 0～100SCCM
B路气体测量范围 0～200SCCM
C路气体测量范围 0～500SCCM
流量控制范围 2%～99%
零点温漂 0.6F.S(15～35℃)
响应时间 2S
工作环境温度 (15～50℃)
精度保证温度 (15～35℃)
供电电源 220V50Hz
设备重量 43kg

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