Gaertner Stokes激光椭圆仪LSE-USB

Gaertner stokes laser ellipsometer LSE-USB

具有便捷USB接口的LSE-USB型号使用的 StokesMeter™技术（曾荣获 Photonics Spectra和R＆D 100新产品奖）。该单元简单而坚固的设计提供了的易用性和即时测量。它是非常复杂的椭圆仪的一种流行替代方案，可用于精确的常规测量。

与其他椭偏仪不同，StokesMeter™ 这项技术无需移动部件，也无需调制器，即可快速准确地确定入射角度为70°的HeNe激光测量光束的完整偏振态。激光光源具有足够的光强度，以提高吸收膜和粗糙散射膜的测量精度。激光源还具有光谱精确，稳定和持久的优势。激光允许使用光学器件，检测器和其他组件进行的仪器设计，从而可以进行高度精确的测量。LSE-USB设计占用空间小，但可容纳300mm的大样本。样品台可以锁定在适当位置，也可以用手轻松移动以测量样品表面上的任何点。

高速薄膜厚度系统可以在不到一秒的时间内完成常规测量！

特征

• ，无移动部件的高级StokesMeter™ 测量头。

• 测量极化的完整状态，以提高准确性。

• 使用光谱精确的激光椭偏仪进行准确，稳定的测量。

• 的薄膜测量仪器。

• 免倾斜，免聚焦，免提操作，适用于类似晶片。

• 简单，紧凑的台式仪器-价格具有竞争力。

gaertner椭偏仪测量程序LGEMP说明
LGEMP Windows软件用途广泛，可以测量单层膜（例如氧化物，氮化物和光致抗蚀剂）以及已知的1、2或3层堆栈的顶层，例如在氧化物上的多晶和在多晶上的氧化物在氧化物上。单层有机膜是LSE-USB型号的精度和稳定性的应用。

“文件处理程序”可以保存和快速检索常用的测量设置参数。可以将四个用户定义的设置文件分配给一个步骤的“按即走”快捷按钮，以快速访问不同的测量设置。

LGEMP程序中的放大PSI-Delta映射允许对薄膜模型进行理论上的“假设”类型模拟，从而提供对薄膜模型的更深入了解。顶层薄膜厚度T1（粉红色线），折射率Nf1（红线），吸收Kf1（棕线）， Y（黄线）， D（绿线），左侧带有可移动滑块，可迅速显示变化的影响模型参数对薄膜折射率的分辨率和可测量性。浅绿色线是恒定膜折射率Nf1的线。白线是Nf1的Autofix区域，在该区域中索引不容易解析。

Stokesmeter™技术的说明
这种的设备无需移动部件，也不需要调制器，可以快速，准确地确定测量光束的完整偏振状态，从而提高了测量精度。

上图显示了用于同时测量所有四个Stokes光参数的StokesMeter™光旋光仪。待确定其偏振状态的光束以倾斜的入射角连续入射三个光电探测器表面，每个光电探测器表面均被部分光谱反射，并且每个光电探测器表面均产生与光电探测器的分数成比例的电信号。它吸收的辐射。第四光电探测器基本上吸收光，并检测其余的光。这样形成的四个输出形成一个4x1信号矢量I，它与输入斯托克斯矢量 S线性相关，即I = AS。所以，小号通过获得S =甲（-1）予。4x4仪器矩阵 A必须是非奇异的，这要求前三个检测器表面的入射平面都不同。对于给定的四个检测器布置，可以通过校准来计算或确定A。

技术优势
简单，紧凑的 StokesMeter™ 取代了由鼓，棱镜，编码器，开关，电动机和检测器及其相关电子设备组成的典型旋转分析仪组件。此外，消除了偏振器臂上的波片机构，从而实现了快速，精确，无移动的椭圆偏振仪。

斯托克斯（Stokes）椭圆仪的一项杰出功能是对由于样品不平整而导致的角射束偏差的微小变化进行了补偿；这样就可以在整个晶圆表面上进行快速，连续的测量，而无需暂停以校正聚焦和倾斜。。

LSE-USB斯托克斯椭圆仪非常精确和稳定，是基本的简单椭圆仪中的价值。LSE-USB型椭偏仪附带LGEMP Windows™软件，USB电缆，6英寸样品台和参考晶圆。它通过USB 2.0端口连接到Windows™PC或笔记本电脑。

LSE-USB可以配备以下选件：

可选的小光斑LSS可以将 标准的1毫米激光束减少到0.25 x 0.75毫米（样品）， 请参见我们的LSE-MS模型，样品上的15 x 45微米

可选的8英寸样品台L8 替代了8英寸样品台，代替了标准6英寸样品台

可选的L-SCAT太阳能电池/ 散射样品测量 太阳能电池行业中常见的粗糙散射样品很难用大多数椭圆偏振仪准确测量，因为信号强度损失且测量光束去极化。尽管有提高信号强度和捕获更多散射光的方法，但是处理去极化要困难得多，并且需要确定极化的完整状态，即测量4个行程参数S0，s1，s2，s3。盖特纳斯托克斯椭偏做到这一点自然是我们 StokesMeter ä
旋光仪用作椭偏仪的分析仪。这使Stokes椭偏仪具有的功能，可以立即将测量光束的偏振和非偏振分量分开，从而仅基于光的全部偏振分量就可以对薄膜厚度和折射率进行高精度测量。L-SCAT散射选项包括对硬件的修改，可以捕获更多来自粗糙，有纹理的表面的散射光，并且可以显示偏振度P的程序。 但是，有些样本过于粗糙，散射的光线太多，无法通过椭圆偏振法进行测量。

带有预装驱动程序以及软件和安全缆线的 可选WIN 10笔记本电脑

可选的Stokes校准套件L118-KIT
使用4个Gaertner可追溯晶圆加玻璃（L118G-KIT）或
4个NIST可追溯晶圆加玻璃（L118N-KIT）重新校准任何Stokes椭圆仪。 中号OST用户将 不需要椭偏仪校准。适用于具有极其严格的公差和法规遵从用户的的半导体制造商。

斯托克斯椭圆仪LSE-USB规格