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超高精度Z轴升降级台,25nm步进,80nm重复精度,1μm精度
Zaber的X-LDM-AEZ 系列是通过计算机软件控制的电动Z轴升降台,X-LDM-AE 直线电机升降台能在垂直应用中提供高精度、可靠性和高速度。被动的磁力平衡器可补偿高达 55 N(约5.5kg) 的负载重量,防止在断电期间发生坠落,或者不必要的运动。Z轴升降台只需一个螺丝即可在几秒钟内微调平衡的力。
1μm精度Z轴滑台是集成一体的独立单元,其他配件仅包括标准的48 V电源和电缆。可通过RS-232 端口或 USB 端口与计算机连接,并且可以与任何其他 Zaber厂家的平移台进行菊花链连接,并可共用一个电源。与 Zaber 的所有产品一样,X-LDM-AEZ 系列设计为“即插即用”,并且非常易于设置和操作。 X-LDM-AEZ系列1微米Z轴电动升降台还包括一个数字输入和两个数字输出,用于与外部系统连接。事件驱动的触发系统允许根据 I/O、时间或运动刺激对设备进行编程以实现独立操作。
1μm精度Z轴滑台可通过USB 2.0 或RS232串行端口轻松连接到电脑,并通过 RS-232 向其发送命令。 Zaber的电动Z轴升降台提供免费、直观的 Windows 软件可以轻松控制设备的速度和位置、更改设备设置和编写自定义脚本。对于 LabVIEW 用户,我们提供免费的 LabVIEW 认证驱动程序。
Zaber公司的电动Z轴升降台有一个手动的分度旋钮,即使没有电脑,也可以通过手动操作旋钮,实现位移台在2个方向上以不同的速度平滑运行。在速度模式下,转动旋钮,滑台开始以恒定的速度移动,旋钮有好几个档位,调整不同的档位,速度会增快或者降低。在位移模式下,旋钮的每一个增量都使设备移动一个可配置的距离。按压旋钮1秒钟,可以在两种模式之间切换。无在任何操作中,你也可以通过按压旋钮发出停止命令。
Zaber 1μm精度Z轴升降台特点:
1. 1微米精度Z轴电动升降台通过RS232串行端口(X-SDC 电缆)或 USB(X-USBDC 电缆)控制菊花链中的所有单元。
2. 可通过X-DC02电缆或X-DC06电缆串联其他电动平移台设备,并可共用一个电源。
3. 一个分度旋钮提供方便的手动控制。通过旋钮可以很容易地实现低至25nm的一致步进。
4. 超高精度Z轴升降台通过被动的磁力平衡器可以补偿高达55N的负重,平衡力可以在几秒钟内精细调整,防止断电坠落。
5. 超高精度Z轴升降台提供免费的软件,可以针对任何有效载荷质量自动优化伺服调整参数。 参数可以即时调整。
6. X-LDM-AEZ升降台的设计具有的可靠性。零移动电缆,结合非接触式驱动和编码器,形成了一个异常坚固的系统。
7. 1 nm 分辨率线性编码器安装在Z轴升降台,以实现精度和重复性精度。
8. 电动Z轴升降台超光滑交叉滚子轴承提供长寿命和出色的俯仰pitch、翻滚roll和偏航yaw规格。
9. 超高精度Z轴升降台使用侧装式的无铁芯直线电机提供出色的动态性能,同时通过使热量远离位移台的编码器刻度来提高可重复性。
10. 超高精度Z轴升降台包含一个数字输入和两个数字输出,用于与外部系统连接的接口。
X-LDM-AE系列1微米精度Z轴电动升降台规格:
X-LDM-AE规格 | 参数 | |
内置控制器 | Yes |
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行程 | 60 mm / 40mm | 2.362" |
精度(单向) | 1 µm | 0.000039" |
重复精度 | < 0.08 µm | < 0.000003" |
Min增量移动 | 25 nm |
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Maximum Acceleration | 16 m/s2 | 1.63 g |
Max速度 | 800 mm/s | 31.496"/s |
Min速度 | 0.61 nm/s |
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Speed Resolution | 0.61 nm/s |
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编码器类型 | Linear analog encoder |
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Encoder Count Size | 1 nm |
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峰值推力 | 10 N | 2.2 lb |
连续推力 | 25 N | 5.6 lb |
通讯接口 | RS-232 |
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通讯协议 | Zaber ASCII (Default) |
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Maximum Cantilever Load | 1200 N⋅cm | 1699.3 oz⋅in |
导轨类型 | Crossed-Roller Bearing |
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Horizontal Runout | < 4 µm | < 0.000157" |
Pitch | 0.003° | 0.052 mrad |
Roll | 0.002° | 0.035 mrad |
Yaw | 0.002° | 0.035 mrad |
Counterbalance Type | Adjustable Magnetic |
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Counterbalance Payload Range | 10-33 N | 2.2-7.4 lb |
Maximum Current Draw | 3000 mA |
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电源 | 48 VDC |
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电源插头 | 2-pin screw terminal |
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电机类型 | Moving Magnet Track Linear Motor |
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数据线连接 | Locking 4-pin M8 |
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Limit or Home Sensing | Optical Index Mark |
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Manual Control | Indexed knob with push switch |
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Axes of Motion | 1 |
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LED 指示灯 | Yes |
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安装孔 | M6 threaded holes |
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工作温度范围 | 0 to 50 °C |
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真空兼容 | No |
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符合 RoHS 标准 | Yes |
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符合 CE 标准 | Yes |
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移动质量 | 2.32 kg | 5.104 lbs |
数字输入端口 | 1 |
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数字输出端口 | 2 |
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重量 | 5.17 kg | 11.398 lb |
1μm精度Z轴升降台尺寸图: