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MEMS（微机电系统）可变形镜面技术MEMS可变形反射镜
维尔克斯光电为用户提供来自Boston Micromachines Corporation(BMC)的微机电可变形反射镜和微机电分段变形镜，类型主要分为低致动器数DM、中执行器计数DM以及高执行器数MEMS可变形反射镜。
Multi-DM可变形镜能够实现高达 5.5 μm 的行程、2 kHz 的帧速率、亚纳米级步长且无滞后。以 X-Driver 的形式为 Multi-DM 系统提供高速电子升级。
中执行器数DM系统是高性能波前校正器，适用于天文学、激光通信和远程成像等要求严苛的应用，提供三种类型：Kilo-DM、492-DM 和 648-DM。
Kilo-DM可变形镜是用于精确、高速、高分辨率波前控制的使能组件。多达 1020 个执行器控制在1纳米以下的精度且无滞后，该系统非常适合要求严苛的应用。
作为流行的Kilo-DM可变形镜的替代品，492-DM和 648-DM可以以更低的成本使用并产生的效果。492-DM和648-DM系统分别将492和648执行器的精度控制在1 nm以下且无滞后，是天文学和下一代成像应用的理想选择。
Boston Micromachines的MEMS可变形反射镜其中低制动器数MEMS反射镜是用于高级波前控制的经济且通用的像差调制解决方案，具有高达140个精确控制的元件和低致动器间耦合，Multi-DM系统是包括显微镜、天文学、视网膜成像和激光束整形应用在内的广泛应用的理想选择。这种DM可用于自适应光学或空间光调制器应用的连续和分段表面。
Boston Micromachines Corporation(BMC)是高执行器数MEMS变形镜技术的者，这些反射镜部署在世界各地的天文设施中，用以提高波前校正能力，其中4K-DM 安装在双子座行星成像仪器上2K-DM则包含在多个空间望远镜概念的设计中。
此外，2K-DM 被安装为斯巴鲁日冕仪自适应光学（SCExAO）仪器和麦哲伦望远镜 (MagAO-X) 的实验性日冕自适应光学系统中的启用组件。多年来，两者都一直在空中观测中持续运行。
MEMS可变形反射镜反射镜特点：
-大阵列产生高分辨率波前校正。
-的微结构允许对高空间频率表面的相邻执行器之间的影响最小
-优化设计可实现高速应用的快速波前整形
微机电分段变形镜，MEMS可变形反射镜规格：
| DM型号 | 执行器数量 | 跨孔径执行器数量 | 物理行程（μm） | 波前行程（μm） | 孔径（mm） | 螺距（μm） | 机械响应 | 更新率：标准（kHz） | 更新率：高速（kHz） | 近似执行器耦合 |
| 492-S-1.0-SLM | 492 | 24 | 1.0 | 2.0 | 9.60 | 400 | ＜80 | 60 | n/a | 0% |
| 492-3.5-SLM | 492 | 24 | 3.5 | 7.0 | 9.60 | 400 | ＜80 | 45 | n/a | 0% |
| Kilo-CS-1.0-SLM | 952 | 34 | 1.0 | 2.0 | 13.60 | 400 | ＜80 | 60 | n/a | 0% |
| Kilo-C-3.5-SLM | 952 | 34 | 3.5 | 7.0 | 13.60 | 400 | ＜80 | 45 | n/a | 0% |
| 2K-1.5L-SLM | 2040 | 50 | 1.5 | 3.0 | 20.00 | 400 | ＜20 | 30 | n/a | 0% |
| 2K-3.5-SLM | 2040 | 50 | 3.5 | 7.0 | 20.00 | 400 | ＜80 | 30 | n/a | 0% |
请注意：填充系数>98%(SLM)，表面形状：<30 nm
*自定义执行器可根据要求提供
微机电可变形反射镜, MEMS变形镜规格：
| DM型号 | 执行器数量 | 跨孔径执行器数量 | 物理行程(μm） | 波前行程(μm) | 孔径（mm） | 螺距(μm) | 机械响应 | 更新率：标准（kHz） | 更新率：高速（kHz） | 近似执行器耦合 |
| Multi-C-1.5L-DM | 137 | 13 | 1.5 | 3.0 | 4.80 | 400 | ＜75 | 2 | 100 | 15% |
| Multi-3.5-DM | 140 | 12 | 3.5 | 7.0 | 4.40 | 400 | ＜75 | 2 | 100 | 13% |
| Multi-3.5L-DM | 140 | 12 | 3.5 | 7.0 | 4.95 | 450 | ＜75 | 2 | 100 | 13% |
| Multi-5.5-DM | 140 | 12 | 5.5 | 11.0 | 4.95 | 450 | ＜100 | 2 | 100 | 22% |
| 492-S-0.6-DM | 492 | 24 | 0.6 | 1.2 | 6.90 | 300 | ＜20 | 60 | n/a | 15% |
| 492-S-1.0-DM | 492 | 24 | 1.0 | 2.0 | 9.20 | 400 | ＜75 | 60 | n/a | 13% |
| 492-1.5-DM | 492 | 24 | 1.5 | 3.0 | 6.90 | 300 | ＜20 | 45 | 60 | 15% |
| 492-3.5-DM | 492 | 24 | 3.5 | 7.0 | 9.20 | 400 | ＜75 | 45 | 60 | 13% |
| 492-5.5-DM | 492 | 24 | 5.5 | 11.0 | 10.35 | 450 | ＜100 | 45 | 60 | 22% |
| 648-5.5-DM | 648 | 28 | 5.5 | 11.0 | 12.15 | 450 | ＜100 | 45 | 60 | 22% |
| Kilo-CS-0.6-DM | 952 | 34 | 0.6 | 1.2 | 9.90 | 300 | ＜20 | 60 | n/a | 15% |
| Kilo-CS-1.0-DM | 952 | 34 | 1.0 | 2.0 | 13.20 | 400 | ＜75 | 60 | n/a | 13% |
| Kilo-C-1.5-DM | 952 | 34 | 1.5 | 3.0 | 9.90 | 300 | ＜20 | 45 | 60 | 15% |
| Kilo-C-3.5-DM | 952 | 34 | 3.5 | 7.0 | 13.20 | 400 | ＜75 | 45 | 60 | 13% |
| 2K-1.5L-DM | 2040 | 50 | 1.5 | 3.0 | 19.60 | 400 | ＜40 | 30 | n/a | 15% |
| 2K-3.5-DM | 2040 | 50 | 3.5 | 7.0 | 19.60 | 400 | ＜75 | 30 | n/a | 13% |
| 3K-1.5-DM | 3063 | 62 | 1.5 | 3.0 | 18.30 | 300 | ＜20 | 16 | n/a | 15% |
| 4K-3.5-DM | 4092 | 64 | 3.5 | 7.0 | 25.20 | 400 | ＜75 | 16 | n/a | 13% |
请注意：填充系数>99%(DM)，表面形状：<30 nm
*自定义执行器可根据要求提供
MEMS可变形反射镜可用的选项：
| 变形镜 | 镀层 | 窗口AR镀层（nm） | 驱动* |
| Multi | 铝金防护银 | 400-1100 550-2500 650-1050 1050-1700 1550 | Multi-Driver X-Driver |
| 492 648 ** Kilo | 400-1100 550-2500 1550 | S-Driver ** Kilo-Driver Kilo-Low-Latency-Driver | |
| 2K 3K 4K | 400-1100 550-2500 1550 | +K Driver |
* 亚纳米级平均步长
** S-Driver 不适用于 648 DM
