450PM手动探针系统

450PM手动探针系统

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2024-03-07 12:27:08
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产品简介

8060,4060,450PM探针系统结合了晶圆高效探测,准确的光学系统和机械性能好于一身,是手动150 / 200mm用于要求较高的分析测试的探针系统,在世界各地都广泛应用的专业设备。微机械手8060,4060,450PM,4060,450PM型200mm手动探针台提供了6 - 8”(150 - 200mm) 手动探针系统的性能。Micromanipulator 自主研发的8060,4060......

详细介绍

高性能手动150mm-200mm晶圆探针,8060,4060450PM4060450PM手动探针系统


80604060450PM探针系统的可用选项允许您根据您的特定需要配置它。美国Micromanipulator 80604060450PM200mm手动探针系统提供了6 - 8(150 - 200mm)手动分析探针系统的性能。8060是设计为易于使用的要求应用,如极低电流和电压探测,高和低温探测,和亚微米目标探测的极限可见光学。80604060450PM工作站结合了高效使用的价值和一致、准确的电气和机械性能的信心,是世界各地要求高的分析测试专业人员选择的手动150 / 200mm探针工作平台。探针持有器,热夹,操纵器,的探针持有器,振动隔离表,轻型密封外壳(LTEs)和相机系统是流行的附件选项。支持三个温度范围。8060也可以配置一个集成的环境,支持暗屏蔽干探测。支持三种温度范围:

-环境温度(室温)400C

- 0 c - 400 c

- -65℃到400

8060型的性价比,加上其高效率的特点和坚固的可靠性,使其成为高性能分析研究中真正的高性价比设备。

80604060手动探针系统特性概述:

8060,4060450PM手动探针系统提供性能可在6 - 8(150 - 200mm)手册分析探针台。8060的设计是为了便于使用适用于要求较高的场合,如极低电流电压探测,高温探测,低温探测,以及探测可见光极限的亚微米目标。8060站结合了有效利用的价值具有一致性的信心,准确的电气和机械性能好,是手动150 / 200mm用于要求较高的分析测试的探针站世界各地的专业人士。

可供选择的型号8060探针系统允许您可以根据您的特定需要配置它。探针卡支架,热夹头,机械手,的探针支架,隔振台,轻型密封外壳(LTEs)和相机系统是流行的附件选项。450PM手动探针平台也可以配置一个集成的支持黑屏蔽干探测的环境。

4060型的性价比是耦合的其拥有成本低,得益于其高效率特点和坚固的可靠性结合,使它真正高性能分析的成本效益答案探索。

美国Micromanipulator 80604060手动探针系统特性规格:

-脚印(宽度x深度)22.75x 23.35(57.7 x 59.3cm)。站宽、深、高28.5 " x 26.75 " x 21.5 " (72.3 x 67.9)x 54.6厘米)。重量:246(542.3公斤)x - y阶段运动

-铸造舞台核心,更快的沉淀时间。

-交叉滚柱轴承方式建设,高可靠性和精度。

-X和Y轴范围6 " X 6 " (150mm X 150mm)8 " X 8 "(200 mm x 200 mm)。手动控制

-分辨率3.5“快速”,0.38“精细”控制。查克θ:100 TPI(0.7英寸)分辨率,15度范围。显微镜

-桥架安装为4 " x 4 " x 2 " (100 x 100 x 50mm) x, Y, Z分辨率2.5。大面积磁性不锈钢压板

-通过压板精细举升控制,Z轴范围为1.0(25.4mm),分辨率0.1×m每度旋转


80604060450PM手动探针平台配件和选项,包括:

探头卡持有人,轻型密封外壳,热夹头,视频配件,手动/电动操作器。

450PM 手动探针平台性能和优点:

-舞台手动丝杠控制,使用寿命长稳定、快速定位。

-450PM-A型滚筒的丝杠控制用于探针卡的定位。

-手动卡盘旋转与方便的锁。

-立体变焦或复合显微镜上的稳定杆允许手动X-Y定位,精确聚焦控制。

-符合人体工程学,紧凑的设计提高了易用性,而增加稳定性。

-紧凑的脚印,有效利用实验室空间。

-大型铝压板,让运营商选择多种方便的机械手放置选项。

-8英寸(200mm)8英寸x8英寸环境真空吸盘晶圆级旅行。

-可选配热卡盘,包括内置卡盘具有方便终端的电缆/软管处理组件在探测器站的后面。


美国Micromanipulator 450PM 手动探针平台特性规格:

-脚印(宽度x深度)22.75x 23.35(57.7x59.3cm)。工位宽度、深度、高度28.5 " x 26.75 " x 21.5 "(72.3 x67.9x 54.6厘米)。重量:191(86.6公斤)x - y阶段运动

-铸造舞台核心,更快的沉淀时间。

-交叉滚柱轴承方式结构,高可靠性和精度。

-X和Y轴范围为8X 8(200mm X 200mm)。手动控制

-分辨率为每度1h。查克θ:

-通过易于使用的拇指螺丝提供安全固定卡盘柱上可旋转轮毂显微镜

-臂架安装允许在Y轴定位下最多8(200mm)。上旋转安装杆可达180度。

-垂直定位长度可达8(200mm) 1”显微镜精细聚焦控制大面积铝压板

-450PM-A: 1”(25.4mm) Z轴范围,通过压板精细提升控制,分辨率40微米(0.0015),每次旋转。

-450PM-B:固定,稳定压板。

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