1. 概述
 Cowaq 公司的 S150RTL-1 型全自动真空磁控离子溅射仪是用于电镜样品前处理的高质量的镀膜仪系统。整台设备采用了低温磁控设计，不仅使金属

靶和样品台表面的冷却不再需要，而且更低的溅射电压也使得仪器的使用寿命、安全性以及溅射效率更高。
2、S150RTL-1 的主要优势功能包括：
 全自动运行
 10 寸彩色液晶触摸屏全自动控制
150 mm(6 英寸)大样品室
低电压低温磁控溅射
 参数可预设
全自动的操作和控制系统使得用户能更为方便地通过预选择参数来保证镀层厚度的精确和重复，也使得样品表面的镀层厚度以及颗粒更为均匀。10 寸的 液晶

屏可以更好地消除使用者对自己视力和手指直径的担忧，获得更好的操作感觉。150mm 的样品室设计使用户能更方便地装卸更大尺寸的样品，或是更多的样

品，不仅可以降低成本，提高靶材的利用率，也大大提高了工作的效率。 配合多功能行星型倾斜旋转样品台，可以使不同形状的样品表面以及处于整个真空室

内各个不同位置的样品表面可以进行不同位置、角度交换，从而使所有的样品表面在不同位置，不同角度得到均匀、一致的镀膜效果。此溅射仪可以使用标准

的 57mm 直径，0.1mm 厚的金、铂、金/钯、铂/钯或用户自行订制的其他厚度靶材。所有的溅射参数都可被预先设置，而不需要每次调节。实现全自

动操作，使用者的参与已经被减至最少。