GA-370痕量气体分析仪-HORIBA, Ltd.手机版

详细介绍

实现对高纯度气体连续监测，主要应用于空分和半导体行业。

实现对高纯度气体中的痕量杂质气体 (CO, CO₂ 和 CH₄) 的超高感度连续测量。

一般情况下，作为工业用气体使用的氧气，氮气是通过空气分离来制造的。

首先将除去水分和CO₂的原料空气通入分离装置，分离装置时利用氮气、氩气和氧气三者气体的沸点不同进行分离出不同气体。

氢气和氦气也是利用类似的气体分离装置制备。

GA-370测量实例。高纯度氮气、氩气、氧气制造行业痕量气体的测定。

除去水分、CO₂后原料气体中痕量气体的测量。

交替流动调制方式双光路非分光红外吸收原理

GA-370用一束红外光透过检测室射入检测器，测量过程中通过切换电磁阀将采用气体和参比气体切换通入检测室。

测量样气和参比气体使用相同的气体（例如零点气体）时，无法产生调制信号，因此不会产生漂移，解决了痕量气体分析中的零点漂移宜问题。

而且使用双光路检测气室，以相反的相位导入测量样气和参比气体，可实现了长期安定稳定运行，无需光学调整。

型号	GA-370
可测量的气体种类	CO, CO₂, 和CH₄
高纯气体种类	N₂, O₂, He, Ar, H₂, 空气
测量组分数目	1 组分或 2 组分 (由平衡气体种类决定)
测量原理	交替流动调制方式双光路非分光红外吸收原理
量程	0 to 1/2/5/10 ppm
检出限 (2σ)	10 ppb
重复性	≤ ± 2% F.S.
直线性	≤ ± 2% F.S.
零点量程	≤±0.02ppm/天，≤±0.03ppm/周
量程漂移	≤±2% F. S./天，≤±3%F .S./周
响应时间(T₉₀)	≤ 180s
流量 *	测量氧气：约 3.5 L/min；参比气体：约 3.5 L/min 量程气：约 3.5 L/min （注: 测量样气和参比气体的推荐压力值为50-100 kP）
模拟输出	最多可选两路绝缘输出 (2 组分)； 0 -1 V，0 -10 V，0 -16 mA，4 - 20 mA，0-20mA 中可选1路电流输出：允许负载电阻750Ω或以下
安装环境	环境温度0- 40°C
环境湿度	≤85%
颗粒物	低于环境空气基准
震动	0.29 m/s2，频率≤100 Hz
外形尺寸和重量	430(W) × 221(H) × 555(D) mm (含突起部分）；约18 kg
电源	100 - 240 V AC,≤ ±10% （电压：25 0V )
功率	约100 VA

* 注 1) 参比气体和量程气由用户提供，气瓶的精度需满足测试要求。
* 注 2) GA-370 痕量气体分析仪在特殊场合下并不安全。例如，在含H2的环境中使用时需配合防爆小屋以避免爆炸。

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GA-370痕量气体分析仪