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一、概述
我公司生产的不锈钢硅烷燃烧塔，主要用于单晶硅、多晶硅行业生产中产生的硅烷尾气净化。该设备的成功应用，主要是我公司技术人员对国外半导体行业净化硅烷尾气技术方面的消化吸收，来满足国内太阳能、光能行业，半导体行业及CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气体净化。
二、工作原理
根据硅烷尾气与空气接触而自燃的特点，生产工艺中产生的硅烷尾气由管道进入YZR 型不锈钢硅烷燃烧筒进行燃烧处理，经过燃烧筒处理的尾气再由管道进入YZR 型不锈钢硅烷燃烧塔进行二次燃烧处理，燃烧处理后的气体进入燃烧塔的喷淋室进行一次喷淋处理再穿过填料层进入第二次喷雾处理，使尾气与中和循环液进行充分的逆向接触反应，然后通过脱液处理后由抽风机排出。
三、产品外形
四、流程示意
