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产品名称 | 带预热系统滑动式PECVD设备 |
滑轨管式炉部分 | |
产品型号 | KJ-T1200-S06LC-YR |
炉管尺寸 | 60*长度1600mm 可选其他直径Φ50,80,100,120,150mm |
炉管材质 | 石英管 |
加热区 | 双温区,每个温区长度200mm |
工作温度 | 1100℃ |
温度 | 1200℃ |
温控方式 | K型热电偶 |
控制方式 | 触屏控制 |
控温精度 | ±1℃ |
温控保护 | 具有超温和断偶保护功能 |
升温速率 | 0-20ºC/min可调 ,建议10ºC/min |
加热元件 | 含钼电阻丝 |
工作电压 | AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制) |
加热功率 | 3KW |
炉膛材料 | 氧化铝多晶纤维 |
炉体结构 | 炉体带滑轨,可实现快速升温和降温 |
法兰接头 | 标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀 |
密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。 |
预热炉 | |
主要参数 | 温度1100度 ,多段程序控温,可将固体和液体原料放在预热炉中,气化后与气体原料相混合 |
真空系统部分 | |
主要参数 | 采用机械,可实现炉管内的真空 |
气路系统部分 | |
名称 | 四路质量流量计(量程可选) |
等离子电源部分 | |
功率范围 | 0-500W(连续可调) |
售后服务 | 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等及人为损坏不属于质保范围) |
更多规格可根据客户需求定制 |
1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障,均予以免费维修。保修期满后,仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的,我公司将尽快做出处理方案,确保设备正常运行。
3、我公司设提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训。
4、我公司技术人员可提供(产品安装调试、整机维护、技术讲解及操作指导等)。
5、本公司可提供运输服务,包装方式均按照标准安全包装进行。随机技术资料齐全(用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等)。
6、本公司所有产品均有欧盟CE质量认证。