MS/MCS 系列质量流量计&质量流量控制器的核心部件是 Alicat 的层流压差技术，确保在大流量情况仍然是线性流动，从而 补偿了工艺温度和压力变化对质量流量及体积流量产生的影响。

所有 Alicat 质量流量计&质量流量控制器均具有 NIST 可溯源校准 证书。Alicat 提供的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备 校准服务和有条件的终身质保。 MS/MCS 系列质量流量计/质量流量控制器采用全不锈钢结构及弹性密封材料，内置 130/128 种标准气体供 选择。集成式多功能数字显示屏允许用户通过显示屏按钮操作便可进行气体切换、设定值输入及 PID 阀门 调节。MS/MCS 系列设备支持标准的模拟通讯和 RS-232 数字通讯模式，

另有各类定制化选项供特殊项目 需求，如：用于危险环境的 ATEX(欧洲)1 类 2 区和 CSA(美国)1 类 2 区认证产品等。另有便携式(MBS 系 列)质量流量计可选。 产品应用 Alicat 的 MS/MCS 系列数字式质量流量计/质量流量控制器为腐蚀性过程气体应用的，如：半导体行业 等。多变量测量与控制、多种气体标定以及 100:1 量程可调比使得仅用单台 MS/MCS 系列质量流量控制器 便可取代多台设备的功效。可达 0.4%的精度、0.2%重复性及不到 100 毫秒的控制响应时间优 化了气体控制过程。 MS/MCS 质量流量计&质量流量控制器可测量与控制从 0-0.5 sccm 到 0-3000 slpm 的满量程的任何流量

MCS & MCRS 系列质量流量控制器参数 0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 3000 slpm 满量程 艾里卡特®MCS & MCRS 系列专用于某些腐蚀性气体

满量程质量流量控制器 满量程压损 (psid) 排气到大气中 机械尺寸 管道连接接口 1 MCS 0.5 sccm 至 50 sccm 1.0 4.4”H x 3.4”W x 1.1”D M-5 (10-32) 母(内螺纹) 2 MCS 100 sccm 至 500 sccm 1.0 4.6”H x 3.6”W x 1.1”D 1/8” NPT 母 MCS 1 slpm 1.5 MCS 2 slpm 3.0 MCS 5 slpm 2.0 MCS 10 slpm 5.5 MCS 20 slpm 20.0 MCRS 50 slpm 2.0 5.7”H x 7.7”W x 2.3”D 1/4” NPT 母 MCRS 100 slpm 3.2 MCRS 250 slpm 2.4 6.0”H x 7.7”W x 2.3”D 1/2” NPT 母 MCRS 500 slpm 6.5 6.0”H x 7.3”W x 2.3”D 3/4” NPT 母 (2000SLPM 可选配 1-1/4” NPT 母) MCRS 1000 slpm 14.0 MCRS 1500 slpm 17.0 MCRS 2000 slpm 28.6 6.0”H x 8.1”W x 2.9”D MCRS 3000 slpm 16.8 6.0”H x 8.9”W x 2.9”D 1-1/4” NPT 母