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| 仪器型号 | VMS-2515E | VMS-3020E | VMS-4030E | VMS-5030E | ||||||||
| 工作台 | 金属台尺寸 | 450*280 | 500*330 | 606*466 | 706-466 | |||||||
| 玻璃台尺寸 | 306*196 | 350*250 | 450*350 | 550*350 | ||||||||
| 运动行程X.Y | 220*150 | 300*200 | 400*300 | 500*300 | ||||||||
| Z轴升降行程 | 150调焦 | 150调焦 | 150调焦 | 150调焦 | ||||||||
| X、Y、Z轴数显分辨率 | 0.5um | 0.5um | 0.5um | 0.5um | ||||||||
| X、Y坐标示值误差 | ≤（3+L/200）L为被测长度，单位：mm） | |||||||||||
| 仪器重量 | 220 | 270 | 325 | 450 | ||||||||
| 外形尺寸 | 670*660*950 | 720*950*1020 | 720*950*1020 | |||||||||
| 电机 | 三轴运动速度 | 100mm/s | ||||||||||
| 三轴定位精度 | 0.001mm | |||||||||||
| 影像系统 | 摄像机 | TEO彩色1/2″CCD摄像机 | ||||||||||
| 变焦镜头 | 变焦镜头带同轴光变焦镜头（二选一） | |||||||||||
| 变焦镜头倍率 | 0.7-4.5X | |||||||||||
| 视频总倍率 | 30-190X | |||||||||||
| 物方视场 | 11.1-1.7mm | |||||||||||
| 电源 | AC220V/AC110V | |||||||||||
| 消耗功率 | 100W | |||||||||||
| 仪器配件 | 1X镜筒（标配） | 0.5X镜筒（选配） | 工作距离 | |||||||||
| 变焦镜头 | 0.7-4.5X | 0.7-4.5X | ||||||||||
| 添加镜头 | 视频放大 | 物方市场 | 视频放大 | 物方市场 | ||||||||
| 0.5X 可选 | 11.8X-74X | 22-3.4 | 5.9X-37X | 44-6.8 | 175 | |||||||
| 标准型 | 23.5X-148X | 11.1-1.7X | 11.8X-74X | 22-3.4 | 92 | |||||||
| 2X可选 | 47X-296X | 5.5-0.9 | 23.5X-148X | 11.1-1.7 | 36 | |||||||
