检查大型样品的自动化过程-与洁净室兼容。
检查微型MEMS传感器，XXL晶片和所有介于两者之间的东西。
*大试件尺寸为300 × 300mm，*大试件厚度为254 mm，这是分析大型试件的无损方法。
立柱设计确保了稳定性。
在您的洁净室检查晶圆:Axio Imager Vario是DIN EN ISO 14644-1认证，并满足洁净室等级ISO 5的要求。
与电动z轴驱动和自动对焦系统，你可以带来低对比度，反射标本到*的焦点。
这每次都会产生*佳结果。
根据您的需求配置
显微镜
Axio成像仪。
A2 Vario(手动，编码)
Axio成像仪。
Z2 Vario(可电动化)
Axio成像仪。
Z2 Vario(没有炮塔焦点)
照明方法
反射光:亮场、暗场、DIC、C-DIC、偏振、
荧光
透射光:亮场、暗场、DIC、PlasDIC、偏振、相位对比
照明
反射光:LED，卤素，HBO, XBO
透射光:LED、卤素
配件
自动对焦，线性传感器，手动和电动舞台
简单。更聪明。更多的集成。

•利用*大试件尺寸为300 × 300mm和令人印象深刻的*大试件厚度为254 mm进行无损分析。
•无论是处理沉重的样品或与LSM 700激光扫描显微镜结合工作，坚固的柱设计提供稳定，您可以依赖和防止振动。
•axio Imager Vario是DIN EN ISO 14644-1认证，与一个洁净室套件，满足洁净室等级ISO 5的要求。
•用于检测反光，低对比度的样本表面，配备Axio Imager Vario快速和*效的自动对焦系统。
然后，即使你*大的标本将保持*的焦点沿X和y轴移动。
为您的应用程序创建
•由于广泛的旅行范围，您可以检查太阳能电池表面的均匀性和微裂纹。
•使用洁净室套件和自动对焦来识别晶圆上的颗粒、划痕和缺陷。
•识别TFT显示器在反射和透射光下的像素缺陷。
•用光罩支架检查光罩是否有过量的铬膜和颗粒。