DMD无掩膜光刻机

DMD无掩膜光刻机

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具体成交价以合同协议为准
2024-02-12 14:21:32
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上海昊量光电设备有限公司

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产品简介

无掩膜SmartPrint无掩膜光刻机SMARTPRINTUV是一种基于DMD投影技术的设备,可兼容多种电阻和基片

详细介绍

无掩膜SmartPrint


无掩膜光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的设备,可兼容多种电阻和基片。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状,而不需要硬掩模。基于改进后的标准投影技术,投影出具有微米分辨率的图像,无掩膜光刻机SmartPrint无需任何进一步步骤,就能直接从数字掩模光刻出您要的图。无掩膜光刻机SmartPrint主要应用是微流体,生物技术和微电子等领域光刻表面微纳图案。


主要特性:

兼容i、h、g线光刻胶

SmartPrint-UV配备了385 nm LED源,以兼容标准i, h和g线光刻胶,如SU8或AZ®1500系列


适用于各种各样的基材

我们的物镜范围经过精心选择,具有较长的工作距离(高达3厘米),使SP-UV成为一种非接触式技术,因此兼容非标准基材(非平的,灵活的,厚的)。


可调直写范围和分辨率——用户可获得四种不同的直写分辨率        直写分辨率1.5um                                                                     

                                     


兼容任何尺寸的样品,可至5平方英寸                                         对齐方式直观——反馈相机与第二束590nm准直光源叠加使用

                      


体积小,性价比高


应用领域:

                 光器件                                                      微流控                                        微电子


指标参数:


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