压电亚纳米/纳米平移台（压电直推型，0-1500μm行程）
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高精度亚纳米
法国PIEZOCONCEPT压电纳米平移台是以压电陶瓷为驱动，采用柔性铰链连接，选用比传统电容位移传感器性能更优的Si-HR 传感器，具有更高的稳定性和闭环精度。现可提供一维/二维/三维（X、Z、XY及XYZ）精密压电纳米、仪和快速偏摆台等产品，一维位移台行程可达1500um（MAX）。支持短周期、低费用的定制服务。
采用硅基高精度硅基位移传感器（Si-HR 传感器）闭环反馈，使平台拥有毫秒级响应速度，亚纳米级的分辨率，超低底噪（10-50pm）和超高线性度（0.02%）。配备16Bit高分辨率高速控制器，支持模拟/数字信号控制。被广泛应用于，、系统、原子力显微镜、体容积成像、显微扫描、光路调整、纳米操控技术、 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、等领域。 受到国内外工业领域和科研领域的。
| 主要特点 | 主要应用 | |
高分辨率：0.005nm/urad（Max） 超大行程：1500um（Max） 超低底噪：10-50pm 超高速：谐振频率7000Hz（Max） 高性能传感器：Si-HR 传感器 柔性铰链：高可靠、长寿命 紧凑设计 可用于真空环境 | 超分辨显微 原子力显微镜 干涉测量 精密光学 /扫描 光镊 纳米刻蚀 |
1）单轴
单轴压电平台是可以在单个维度上提供精确定位的产品，主要包含X轴压电平台、Z轴压电平台、物镜、快速反射镜。
① X轴压电平台
可提供各类大行程/高精度、中空/非中空类型的产品
型号 | AU-HS1 | AU-HS1H | AU-CX | AU-LF1 | AU-SLR |
产品图片 |
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行程(μm) | 10/30/50/70/100 | 30/50/70/100 | 100/200 | 100/200/300 | 300/500/800/1500 |
分辨率(nm) | 0.01/0.03/0.05/0.07/0.1 | 0.03/0.05/0.07/0.1 | 0.1/0.2 | 0.1/0.2/0.3 | 0.3/0.5/0.8/1.5 |
重复精度（全行程）nm | 0.02/0.06/0.1/0.14/0.2 | 0.06/0.1/0.14/0.2 | 0.2/0.4 | 0.2/0.4/0.6 | 0.6/1/1.6/3 |
本底噪声nm | 0.001/0.003/0.005/0.007/0.01 | 0.003/0.005/0.007/0.01 | 0.01/0.02 | 0.01/0.02/0.03 | 0.03/0.05/0.08/0.15 |
| 传感器 | 硅传感器闭环反馈 | ||||
| 产品特点 | 超高速，高精度 | 高精度大通孔可用于倒置显微镜 | 大通孔可用于生物样品扫描 | 超大行程 | |
②Z轴压电平台
型号 | AU-Z-stage | AU-C.Z | Z-insert | Z-insert-K-TYPE | LT-Z |
产品图片 |
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行程(μm) | 5/10/25/50 | 100/200 | 100/200/300/500 | 100/200/300 | 100/200/300/500 |
分辨率(nm) | 0.005/0.01/0.025/0.05 | 0.1/0.2 | 0.1/0.2/0.3/0.5 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3/0.5 |
重复精度(nm) | 0.01/0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.4 | 0.2/0.4/0.6/1.0 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6/1.0 |
本底噪声nm | 0.0005/0.001/0.0025/0.005 | 0.01/0.02 | 0.01/0.02/0.03/0.05 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03/0.05 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 | ||||
③物镜扫描台
型号 | FOCHS.100 | |
产品图片 |  |
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行程(μm) | 100 | 100/200/300/500 |
分辨率(nm) | 0.1 | 0.1/0.2/0.3/0.5 |
全行程重复精度(nm) | 0.2 | 0.2/0.4/0.6/1.0 |
本底噪声nm | 0.01 | 0.01/0.02/0.03/0.06 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 | |
④一维
型号 | AU-TT1 |
产品图片 |
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角度(mrad) | 5/10 |
分辨率(urad) | 0.005/0.01 |
全行程重复精度（urad） | 0.01/0.02 |
本底噪声（urad） | 0.0005/0.001 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 |
2）两轴压电平台
两轴压电平台可以提供两个维度上的平移或偏转，主要包括XY二维压电纳米位移台和二维快反镜
①XY压电平台
型号 | LFHS2 | C2. | LFS2 | LT2 | BIO2 |
产品图片 |
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行程(μm) | 30/50/75 | 100/200 | 100 | 100/200/300 | 100/200/300 |
分辨率(nm) | 0.03/0.05/0.075 | 0.1/0.2 | 0.1 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 |
重复精度(nm) | 0.06/0.1/0.15 | 0.2/0.4 | 0.2 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 |
本底噪声(nm） | 0.003/0.005/0.0075 | 0.01/0.02 | 0.01 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 | ||||
②二维快反镜
型号 | |
产品图片 |
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偏转角度(mrad) | 5/10 |
分辨率(μrad) | 0.005/0.01 |
全行程重复精度（μrad） | 0.01/0.02 |
本底噪声（μrad） | 0.0005/0.001 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 |
3）三轴压电平台
产品图片 | 描述 | 行程 |
| LT3是一款三维压电平台，可提供100,200或300微米的行程。平台使用硅传感器，整体厚度只有20mm，该平台很容易集成到倒置显微镜中 | X-Y-Z |
| BIO3是一款超低剖面的三维纳米可集成在任何倒置显微镜中。载玻片可以放置在其矩形孔中 | X-Y-Z |
| LF3是紧凑型3轴压电平台，具有66mm方孔，X轴和Y轴行程范围为100μm，200μm或300μm，Z轴行程为50μm。 建议要求小尺寸和通光孔时使用。 | X-Y: Z: 50μm |
| LFS3是一款3轴纳米定位平台，X，Y行程为100μm，Z行程20um，通光孔径40 x 40 mm。 | X-Y: 100μm 20μm |
| LFHS3是一款高速三轴纳米定位台，谐振频率高于2k，通光孔径达66x66mm，可实现高速扫描，阶跃时间可达2ms | X-Y: 75μm Z: 50μm |
| LTHS3是一款超薄高速三维定位平台，可配合任何倒置显微镜使用，可实现高速扫描 | X-Y: Z: 50μm |
| C3是一款紧凑型平台，是对准、双光子聚合、激光直写等应用的理想产品 | X-Y-Z 200μm |
| SPM3平台的Z轴具有高达50μm的行程范围，谐振频率高达12.5kHz，当与高功率控制器一起使用时，SPM3.5的Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。因此，SPM平台专为要求苛刻的计量应用而设计，例如原子力显微镜。 | X-Y: Z: 5μm 10μm 25μm 50μm |
| SPM3LR压电平台是三维纳米定位平台，X轴和Y轴的位移为 100μm，200μm或300μm。 Z轴部分的行程MAX可达50μm并具有高达12.5kHz的谐振频率。 SPM3LR.xxx.05的Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。 因此，SPM3LR设计用于要求苛刻的计量应用，例如原子力显微镜。 | X-Y: 200μm 300μm Z: 5μm 10μm 25μm 50μm |
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