高精度角位移台

角位移台又称为摆动滑台、α轴摆动平台等，是用在在小角度内精确旋转物体的平台，它提供的不是线性运动而是绕着空间固定一点进行旋转。

AU-SGO系列角位移台由驱动，使用高精度交叉滚珠轴承，可提供的分辨率，并且行程可达到±5°，适用于微米或纳米定位。该平台可提供不同的旋转半径。主要包括以下产品。

此外可以将两个合适半径的平台组合在一起组成欧拉角位移台，此外还可以与线性平台组合组成多维运动系统。 另外该平台还可以用于不同的环境下，例如真空和超高真空环境。

应用实例：

1、  具有六个自由度的定位系统（X;Y;Z;a;b;Z_θ）

角位移台可以与我们的其它运动模块组合组装为多维运动系统，如下图所示，与两个线性平台和升降台组装成XYZ平台，在XYZ系统的顶部安装了两个测角仪SGO-60.5和SGO-77.5，以及一个SR-5014，由于外部尺寸和安装孔匹配，三个旋转阶段具有相同的旋转中心（由绿色球体表示）。

主要特点

l  高精度（0.03µrad）

l  可在真空和非磁环境