SAMCO二手翻新刻蚀系统刻蚀机RIE-10NR

SAMCO二手翻新刻蚀系统刻蚀机RIE-10NR

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-01-09 13:56:33
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青岛佳鼎分析仪器有限公司

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产品简介

SAMCO二手翻新刻蚀系统刻蚀机RIE-10NR产品优势：高度紧凑型设计，节约空间

详细介绍

SAMCO二手翻新刻蚀系统刻蚀机RIE-10NR

产品优势：

高度紧凑型设计，节约空间；

均匀度-小于±5%超过8英寸；

30年的RIE蚀刻器生产工艺经验；

具备大型晶圆处理能力，能够处理8英寸晶圆；

易于操作-电脑化的触摸屏显示器；

ASMCO二手翻新刻蚀系统RIE-10NR

设备硬件配置

1. 可加工尺寸，8 寸 wafer；
2. 真空系统
EBARA 罗茨泵+OSAKA 分子泵
3. RF
AX-300 300W,13.56MHZ
4. 气体
O2 200SCCM
CF4 200SCCM
AR 100SCCM
SF6 100SCCM
气体可根据客户需求更改
5. VAT 蝶阀
6. MKS 薄膜电容真空计

7. 配备冷水机


翻新内容

1. 真空泵翻新；
2. MFC 校准翻新；
3. 腔室 parts 翻新；
4. 真空管路波纹管及密封件更换；

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