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PVA TEPLA / TECHNICS 660刻蚀机二手现货，2008年设备，仅运行16小时，微波等离子刻蚀设备。
制造商:PVA TEPLA / TECHNICS
型号:660
类别:ETCHERS / ASHERS
年份:2008
设备详细信息:
微波等离子系统
边缘隔离蚀刻工艺
伸缩台选项：直径 350 毫米
铝腔：400 x 400 x 400 毫米
微波：2.45 GHz
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(3) MFC 受控工艺气体输入
排放气体输入
运行时间：16 小时
EBARA 无油干泵包括
电源电源：230 V、16 A、50/60 Hz
2008 年份
