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二手刻蚀机现货TOKYO OKA/TOK TCE-3822，2011年设备，可对尺寸为5英寸的晶圆进行蚀刻工艺处理。
制造商:TOKYO OKA / TOK
型号:TCE-3822
分类:ETCHERS / ASHERS
年份:2011
设备详细信息:
Etcher, 5"
主体：
(2) Chambers with control rack
KYOSAN MAK5 Matching controller
Leakage detector (WR-NA)
RF Power supply, 1 kW
电源: 200 V, 125 A, 3-Phase, 60 Hz
2011年.
