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MATTSON二手刻蚀机 ASPEN III，2006年设备，light etcher，可对12英寸晶圆进行蚀刻工艺处理。
制造商:MATTSON
型号:ASPEN III
类型:ETCHERS / ASHERS
年份:2006
晶圆尺寸:12"
其他设备信息:
Light etcher, 12"
Maximum forward RF Power (Set point) Head A to F: 3000
(3) ADVANCED ENERGY RFG-3 RF Generator type chambers
