产品概述
IN-2000型双光路高精度紫外臭氧分析仪是同类产品中的高精确度高品质臭氧分析仪的代表，它目前主要用于半导体、芯片、CVD，ALD等领域。由于它优异的品质，使得它成为那些需要长时期、高稳定地提供连续测量和工艺控制的客户的正确选择，长期使用的所有者成本低。是监测气体发生设备、气柜、气体输送系统以及半导体设备的臭氧浓度的理想选择。也可用于环境监测、职业卫生和科学。
特点
- 微机控制
- 紫外吸收技术
- 可订购多达5个取样点
- 压力和温度补偿能力
- 内置现场编程，可编次序
- 定光学系统
- 每通道4-20mA隔离输出
- 每通道双报警
技术规格
- 取样点数量：1，3或5个内置式多通道阀
- 量程：0-1ppm，0-10ppm，0-100ppm, 或 0-1000ppm可选
- 精度等级：5ppb(0-1ppm量程)，0.01ppm(0-10ppm量程)，0.1ppm(0-100ppm量程)
- 分辨率高：0.001ppm(0-1ppm)，0.01ppm(0-10ppm)
- 流量：内置泵，流量可调（不大于2L/m）
- 输出：模拟4～20mA，以及数字输出
- CE认证；内部自检；RS-232通讯接口
