低温真空泵

  低温真空泵是利用10K（-263℃）低温制冷机作为冷源，通过低温冷凝、低温吸附的原理获得无油高真空的设备，

低温真空泵广泛应用于：

   1）半导体、集成电路、光电器件的镀膜工艺过程；

   2）光学镜片镀膜；

   3）磁控溅射镀膜生产线；

   4）空间环境模拟；

   5）真空排气台等。

低温真空泵主要特点：

   1）低温真空泵是吸附式真空泵，工作时无需前级泵；

   2）低温真空泵需要再生；

   3）低温真空泵对不同气体具有不同的抽速和抽气容量。

低温真空泵的主要优点：

    1）高极限真空度。基本型可达10^-6Pa真空度，特殊要求时可达10^-7Pa以上；

    2）大抽速。对空气尤其是对水蒸汽具有超高的抽速，其它真空泵不可比拟；

    3）真正洁净。

    4）运行成本低

    5）安全可靠

    6）使用方便

    7）使用寿命长