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优势
• 传感器部分采用哈氏合金，耐腐蚀性强。
• 产品精度高，可达99%～25%：±1.0% of S.P.、25%～2%：±0.25%F.S. 响应时间快(≤1s)
• 产品具有多气体多量程功能，可对气体种类、流量的变更设定
• 支持大流量(可到1000L)数字模式通讯模式
• 产品通过CE、RoHS认证
技术参数
| 型号 | K1000A | K1000B | K1000C | ||||
| 流量规格(N2换算流量) | Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM |
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| Bin 2: 30 SCCM ~100SCCM | Bin 6: 3SLM ~10SLM |
| 60SLM 、100SLM、 | 200SLM、300SLM、 |
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| Bin 3: 100SCCM~300SCCM | Bin 7: 10SLM~ 30SLM | Bin 8: 30 SLM ~50SLM | 150SLM、200SLM | 400SLM、500SLM | 600SLM、1000SLM（N2, H2, Air 等) | ||
| Bin 4: 300 SCCM ~1SLM |
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| Bin 5: 1SLM ~3SLM |
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| 阀类型 | N/O：常开型、N/C：常闭型 | N/C：常闭型 | |||||
| 流量控制范围 | 2%～99%F.S. | ||||||
| 准确度 | 99%～25%：±1.0% of S.P.， | ±1%F.S.(精度保证范围15～35℃) | ±2%F.S.(精度保证范围15～35℃) | ||||
| 工作环境温度 | 5～50℃ | 5～45℃ | |||||
| 响应时间 | ≦1sec | ≦3sec | |||||
| 线性 | ±0.5%F.S. | ||||||
| 重复精度 | ±0.2%F.S. | ||||||
| 工作压差范围 |
| N/O 100～300KPa (3SLM～10SLM) |
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| 50～300KPa | N/O 150～300KPa (11SLM～30SLM) | 200～300KPa |
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| （Ar: 100～300KPa） | N/C 100～300KPa (3SLM～30SLM) | （Ar: 250～450KPa） | 100～300KPa | 150～300KPa | 300～450kPa (H2：150～300kPa) | ||
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| （Ar 200～3500KPa） |
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| 温度系数 | Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃ | ||||||
| 工作压力 | 400KPa（Ar:500KPa） | 700KPa | |||||
| 耐压 | 1MPa | ||||||
| 漏率 | 金属密封：1×10－11Pa・m3/sec He (1×10－10 atm・cc/sec He) | 橡胶圈密封：1×10-7Pa・m3/sec He (1×10－6 atm・cc/sec He) | |||||
| 橡胶圈密封：1×10－7Pa・m3/sec He (1×10－6 atm・cc/sec He) | |||||||
| 密封材料 | 金属密封；氟橡胶；氯丁橡胶 | 氟橡胶；氯丁橡胶 | |||||
| 通讯形式 | 模拟：0~5V DC 数字：RS485、DeviceNet、EtherCAT | 模拟：0~5V DC 数字：RS485、DeviceNet、 | |||||
| 电源 | 模拟/数字：+15VDC 50mA，-15VDC 200mA; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W) | ||||||
| 标准接头形式 | VCR 1/4阳接头、双卡套1/4阳接头 、 1.5'' W-Seal、1.125'' W-Seal、 1.125'' C-Seal | VCR 3/8阳接头、双卡套3/8阳接头 | VCR 1/2阳接头、双卡套1/2阳接头 | ||||
| 重量 | 1.0kg | 3.0kg | 3.7kg | ||||
