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优势
• 基于PTS(Pressure，Temperature，Space)的压力传感技术
• 基于AI的压力控制技术
• 全金属耐腐蚀技术
• 高准确度及高可靠性
技术参数
| 型号 | PC100 |
| 压力类型 | 绝压 |
| 控制压力的满量程 | 1000Torr、1200mbar |
| 耐压 | 3MPa |
| 阀口满量程流量 | 2、3、5SLM |
| 控制方式 | 上游 |
| 温度系数 | Zero：±0.02% of F.S./℃；Span：±0.04% of Reading/℃ |
| 压力分辨率 | 0.1 Torr |
| 压力控制精度 | ±1.0% of Reading(≥10%FS); ±0.2% of F.S. (<10%FS) |
| 响应时间 | < 1.0 S |
| 工作温度范围 | 10 ℃ ～ 50 ℃ |
| 机械接口 | 双卡套 1/4" 、 VCR 1/4" 阳接头 |
| 阀类型 | 常闭 |
| 外漏 | < 1 x 10-10(scc/sec He) |
| 内漏 | < 1.0% of 阀口满量程流量 (阀关闭时，进气端为25 psig，出气端为大气) |
| 供电电源 | +15 ～ +24 VDC(< 4 watts) |
| 电气接口 | DB-9针 |
