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结构特点:
· 专为特气关键制程工艺设计
· 面板式整体结构便于安装
· 主体采用316L不锈钢材质，更适合于半导体制程特气使用
· 金属膜片减压结构
· 硬密封结构，避免材质老化污染
· 采用膜片阀控制，流道简洁，操作可靠，使用寿命长
· 阀组采用焊接与VCR结构连接，大幅避免泄漏。
· 可选用报警信号压力表结构，供气欠压提供报警信号
· 特气系列减压器
· 配安全阀
· 进口减压阀及管路经耐压测试和泄漏测试
· 2”不锈钢压力表，读数清晰
· 所有膜片阀旋钮带“开启/关闭”指示窗
