一、仪器的功能及用途

能够在大气环境下准确地测量样品表面台阶变化；使用金刚石（钻石）探针接触直动式测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。

二: 仪器的配置及主要技术指标

1. 标准配置

1）接触直动式台阶仪主体

2）放大器

3）电脑以及相应中文版测量软件

4）打印设备

5）金刚石触针

6）CCD以及观测装置

2．主要性能指标

一、测定工件

v 1.工件尺寸：φ160mm

2.工件厚度：50mm

3.工件重量：2Kg

二、检出器

1.Z方向测定范围：Max.600μm

2.Z方向分辨率：0.1nm

3.测定力：1mg ~ 50mg

4.探针半径：2μm

v 5.检测驱动方式：直动式

v 6.再现性：0.2nm（1μm台阶仪下）

三、X轴

v 1.移动量（测长）：100mm

v 2.移动真值度：0.2μm/100mm

3.移动、测定速度：0.005 ~ 20mm/s

v 4.线性尺（linarscale）：分解能0.1μm

四、Z轴

1.移动量：50mm

2.移动速度：max.2mm/S

3.检出器自动停止机能

4.位置决定分解能：0.1μm

v 5.线性度：±0.25%

五、工件台

1.工件台尺寸：φ160mm

2.机械手动倾斜：± 2℃(±５mm/160mm ）

六、工件观察：max.110倍（可选其他高倍率CCD）

v 七、床台：花岗岩石材质（120KG机台，低重心）

八、电源：AC100V±10%,50/60HZ, 300VA

九、机台外观尺寸及重量：W494×D440×H630mm,120kg