MSLM - 100X100 - XY - E50

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1MSLM是直线电机显微镜平台的英文缩写

2100x100代表着该型号产品的有效行程，单位mm，如需其它行程，可联系厂家沟通定制

3XY代表工作轴方向及类型，默认按照笛卡尔坐标系确认方向

4E50代表该型号产品光栅的分辨率，单位nm，默认产品分辨率为50nm，可选20nm/100nm/0.5um/1um/5um等，分辨率的改变会导致平台速度以及重复定位精度的变化，详细情况请进一步咨询厂家

特别注意事项：

1、直线电机平台属于高精度精密设备，因此如果希望得到性能，需要保证足够的使用环境，尤其在使用要求重复定位精度小于1um的设备上，所有指标的复现都需要满足一定的温度、湿度、气压、振动等，详细要求可进一步联系厂家咨询沟通

2、所有平台可单独订购，如对设备的精度以及性能要求较高，推荐使用奥正智能自主生产的MCS控制器系列，搭配MCS系列控制器出货的产品，在出厂检验中都会做针对性的优化和校准，是您高要求使用的。