臭氧脱硝设备是利用臭氧的强氧化性将烟气中的NOx、SOx氧化为更高价位的可溶水化合物再通过湿法洗涤吸收的一种新型脱硫脱硝同时脱除技术。

　　臭氧脱硫效率可轻易达到SCR的脱除效率，且透过调整摩尔比、洗涤剂种类其效率是有可到达百分之一百的。

　　反应时间短，速度快。臭氧与NOX反应速度很快，只需要很短的时间，即可将NOX氧化成高价态的NO2和N2O5。因此不需要特别的反应设备，只需要在烟气管道中混合，即可进行。

　　臭氧具有仅次于氟的强氧化性，*有能力将烟气恶劣环境中的NO氧化成高价态，提高烟气中氮氧化物的水溶性，从而通过湿法洗脱。其中主要包括以下反应：

　　NO+O3→NO2+O2         (1)

　　NO2+O3→NO3+O2        (2)

　　NO3+NO2→N2O5          (3)

　　N2O5+ H2O→2HNO3    (4)

　　以臭氧替代其它氧化试剂，通过特殊工艺控制脱硝反应过程，使碱液吸收反应的产物以固体形式存在，实现了气态污染物（氮氧化物）的固化处理，不产生二次污染。