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1.废气先经过预处理，其目的为将废气中大粒径的废气颗粒进行粗过滤。然后再进入后级干式过滤器（G4+F7），将废气湿度降低至允许进入废气处理设备的范围，同时对废气中的粉尘进行高精度过滤。
2.经过过滤后的废气，进入后续设备的吸附床，吸附净化的洁净气体排放烟囱，吸附在蜂窝活性炭上的有机物，利用高温气体（100~120℃）对其进行脱附。高温气体来源为后方CO燃烧后的高温空气与自然风混合生成。
3.经蜂窝活性炭高温脱附后的废气，经过高效换热器汲取热量后再经过电加热器加热达到催化温度，在CO催化炉中完成氧化分解，废气得到净化。净化后的高温气体经过换热器进行热量利用，换热后的气体温度仍然较高，一部分气体用于蜂窝活性炭脱附加热，剩余部外排至烟囱或根据客户需求进行余热利用。
