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G200X纳米压痕仪/划痕仪/微纳力学/力学模块/连续刚度
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INSEM HT高温原位纳米压痕仪 SEM FIB力学测试系统
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P17探针式轮廓仪 台阶仪 形貌仪粗糙度仪 表面形貌测试
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NaFlip动态原位纳米压痕仪 微纳力学 原位力学 微纳米力学
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IMICRO 纳米压痕 微纳力学 微纳力学测试 材料力学测试
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P7台阶仪/轮廓仪/外廓仪/形貌仪/粗糙度仪/表面形貌表征/形貌测试
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D-300台阶仪
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P-17台阶仪（台式探针式轮廓仪）
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P-7台阶仪（台式探针式轮廓仪）
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D-500台阶仪（探针式轮廓仪）
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KLA-公司拥有最多的形貌学核心技术, 并不断推出更多更新更便于操作的形貌学测量产品。形貌学
测试系统 D-系列和 P-系列都是基于 KLA-的技术开发的，适用于对多种材料进行高精度形貌学测试
分析，对样品的多种形貌学性能进行快速、实时分析，包括台阶高度、表面粗糙度、表面形貌，表面内
应力分布等等。在许多应用研究领域，D-系列和 P-系列都表现出其的杰出性能特征：诸如半导
体科学、材料科学、聚合物材料、生命科学、交叉学科纳米尺度的研究等。
