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G200X纳米压痕仪/划痕仪/微纳力学/力学模块/连续刚度
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INSEM HT高温原位纳米压痕仪 SEM FIB力学测试系统
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D-300台阶仪/形貌仪 轮廓仪 外廓仪 粗糙度仪 表面表征仪
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NaFlip动态原位纳米压痕仪 微纳力学 原位力学 微纳米力学
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IMICRO 纳米压痕 微纳力学 微纳力学测试 材料力学测试
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P7台阶仪/轮廓仪/外廓仪/形貌仪/粗糙度仪/表面形貌表征/形貌测试
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D-300台阶仪
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P-170台阶仪（探针式轮廓仪）
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P-17台阶仪（台式探针式轮廓仪）
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D-600台阶仪（探针式轮廓仪）
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P-7台阶仪（台式探针式轮廓仪）
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KLA是半导体在线检测设备市场较大的供应商，在半导体、数据存储、 MEMS 、太阳能、光电子以及其他领域中有着的。P-1 7 是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统， 历经技术积累和不断迭代更新， 集 合众多技术优势。P-1 7建立在P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保待了P-17技术的较好测量性能， 并作为台式探针轮廓仪平台提供了的性价比。P-17可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D洌量，其扫描可达150 mm而无需图像拼接。P-170 F的 载物台支待300mm直径晶圆。
从可靠性表现来看， P-17具有比较好的 测噩重复性。Ult ra li t e ®传感器具有动态力控制，良好的线性，和精准的垂直分辨率等特性。友好的用户 界面和自动化测噩可以适配大学、研发、生产等不同应用场景。
