石墨烯生长炉（PECVD）
产品说明：
石墨烯生长炉由YB-GT管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ，可以是单温区、双温区、三温区等，真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
KJ-1200T管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。
软件控制系统：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。 一：基本参数：
1: 加热炉部分
2 :炉膛模式 开启式炉膛
3 :显示模式 触摸屏
4: 极限温度 1400℃
5 :工作温度 ≤1350℃
6: 升温速率 建议10℃/Min Max：30℃/Min
7 :预热温区长度 150mm
8 :主温区长度 300mm
9 :预热温区移动 手动移动
10: 主温区移动 自动移动，速度可以设定
二：设备特点：
1: 设备规格 2000*85*1400mm（长*宽*高）
2: 炉管长度 2000mm
3: 控温精度 ±1℃
4: 密封方式 快速法兰密封
5 :温度曲线 30段"时间—温度曲线"任意可设
6:预存曲线 可预存15条温度曲线
7: 超温报警 有
8:过流保护 有
9: 断偶提示 有
10: 测温元件 s型热电偶
11: 炉膛材料 氧化铝纤维
12： 射频电源功率
13： 信号频率 13.56 MHz±0.005%
14： 功率输出范围 5W-500W
15： 功率稳定度 ±0.1%
16： 谐波分量 ≤-50dbc
17 ：供电电压 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
18： 整机效率 >=70%
19： 功率因素 >=90%
20 ：冷却方式 强制风冷
真空部分
1：工作电电压 220V±10% 50~60HZ
2：功率 500瓦
3：抽气速率 4L/s
4： 进气口口径 KF25
5：排气口口径 KF25
6：转速 1450rpm
7：噪音 55dB
9：极限真空 4X10-2Pa
气路系统
1,2,3,4气路采用DB07系列
准确度：±1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
整机系统特色
正压测量 -100Kpa---100Kpa
真空测量 -100Kpa
超压保护 超压保护值可以设定
压力恒定 恒定压力值可以设定
智能气路 气路系统可以编程
气路定时 通气时间可以设定
射频工作时间设定 辉光放电时间可以设定，自动关机
移动速度调节 移动速度可以设定
系统真空度 5Pa
