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技术参数:
分辨率: | 3.0nm@ 30KV(SE and W) | 4.0nm@ 30KV(VP with BSD) |
加速电压 | 0.2—30KV | |
放大倍数 | 7—1000000x | |
探针电流 | 0.5PA-5μA | |
X-射线分析工作距离 | 8.5mm 35度接收角 | |
低真空压力范围 | 10—400Pa (LS10:10-3000Pa) | |
工作室 | 310mm(φ)×220mm(h) | |
5轴优中心自动样品台 | X=80mm Y=100mm Z=35mm T=-10°- 90°R=360° | |
较大试样高度 | 100mm | |
大试样直径 | 200mm | |
系统控制 | 基于Windows 7 的SmartSEM操作系统 | |
存储分辨率 | 32,000 x 24,000 pixels |
产品应用:
◆扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体、晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。