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匀胶机手套箱专用高性能BQ-200匀胶机手套箱专用Spin Coater 旋涂仪 旋转涂层机,旋转涂胶烤胶一体机 旋涂仪 旋转涂层机。产品型号:BQ-200盘加热恒温匀胶机Spin Coater 旋转涂胶烤胶一体机 旋涂仪 旋涂机主要用于液体,胶体在材料表面薄膜的形成,适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研,教育,生产中应用。
1 旋转吸盘恒温加热,室温-200℃。精度控制 0.1℃。
2 可以完成有机物的匀胶。(摄氏温度200度以下)。
3 完成匀胶时,还可以完成烤胶。 4 可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程。每个涂敷工艺过程可以设置51步不同的速度状态;
5 可以控制加速度
6 端跳 1mm 的 ±2.5%
7.结构紧凑,适合直接放于手套箱内操作;
8. 7寸全彩触摸屏,高级PLC控制,设置一键启动按钮, 操作方便;
9 .可单步和多步匀胶操作;
10. 工业级马达,旋转平稳,运行稳定;
11. 溶剂PC透明盖;
12. 真空泵与匀胶机同步工作,匀胶机旋转,真空泵就启动,匀胶机停止,真空泵就停止;
13. 设置有开机密码功能,提高设备操作安全性;
14. 左上面配有载物槽,(φ28深16)放药水瓶方便。中心定位针筒滴胶架,轻松对心。
高性能匀胶机旋涂仪 可选购:直径10,20,25,50,75mm聚四氟乙烯吸盘。
自主设计制造高性能匀胶机旋涂仪,"spin coater " 行业称:匀胶机 匀胶台 甩胶机、旋涂仪 旋转涂膜机 旋涂机,主要用于液体,胶体在材料表面形成薄膜。适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不锈钢,金属等制版表面涂覆工艺。可在科研,教育,生产中应用。
匀胶机工作腔内径D220mm 适合直径D10mm-200mm园片及 200mmX200mm方形片。
62mm 吸盘
1.BQ-200高性能匀胶机旋涂仪 高精度26程序控制器:
2.设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程;
3.每个涂敷工艺过程可以设置51步不同的速度状态;
4.加速度(及负加速度),可设置。
5.中英文两套操作系统供选择。
6.操作系统内驻留涂敷工艺过程模板程序,方便快速调试并存储程序。
高性能匀胶机旋涂仪 碎片 微 小片 卡盘
7.设置程序:国际标准通用符号,6键操作,人机交互式对话,提示操作。
8.无需培训,上手就会操作。
9.可连接滴胶机,自动控制在必要的瞬间滴胶,自动控制重复定量滴胶。
10.精准的重复的自动控制操作,是人工不可能及的。
11.工作腔可氮气保护。
高性能匀胶机旋涂仪 各种卡盘接受订货。因客户要求差异太大,无法备货。
我们设备通过有效的惰性气体保护机构设计,对所有的环境变量(温度,湿度,洁净度)有效控制,
这一点针对科研实验的苛刻要求而开发。
12.真空吸片,爪卡机构。2种工作状态随意选择。 爪卡机构工作状态无需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂胶。
13.中心结构定位:
圆形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。
主机标准配备一片真空吸盘即可满足(TA-280适用3英寸-11英寸基片);(TA-360适用3英寸-14英寸基片)。
小于3英寸可使用定制真空吸盘。
中心定位原理
中心定位
利用中心定位板,将基片在机器转轴中心定位。
中心定位板的孔位可以完成4,6,8,10英寸基片定位。完成匀胶。
14.卡盘,吸盘品种丰富,适应各种需要。
吸盘卡盘滴胶机等全体附件
15.真空吸片系统更安全:
安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度,必须在安全的真空度下,
电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。运行中失去真空,系统保护性停机。
16.伺服电机,转速精度更高:300 - 10000 转/分,转速稳定性:+ - 0.1 % 转速10000转/分
设备所用的天然聚丙烯(NPP)材质,食品级卫生材料,易清洁,材质性能稳定,绿色环保型实验室的。
匀胶机技术参数:
单相交流电源:220V.50Hz
电机功率:200W
转数:300 - 10000 转/分。
可设定时间:1---9999秒。
标准包装:尺寸: 490mm宽 x 380mm深 x 310 mm高 ,
中心定位利用中心定位板,将基片在机器转轴中心定位。
中心定位板的孔位可以完成4,6,8,10英寸基片定位。完成匀胶。
匀胶旋涂或者烤胶干燥过程中有一个问题值得大家关注,胶液在凝固干燥定型过程中具有一定的挥发性,会散发出有刺鼻气味的腐蚀气体。一定程度的影响实验操作员的身体健康,尤其是在烤胶和旋涂过程中尤甚(如光刻胶等)。
在生产销售、客户反映、实验过程中我们发现放入手套箱中可以有效的解决这个问题,故此我们推出来一款能放进手套箱的匀胶机-BQ-200灵巧型匀胶机。BQ-200匀胶机是一款小巧轻便的台式匀胶旋涂设备,结构设计新颖紧凑,采用聚乙烯 .PC等抗腐蚀材料。
能放进手套箱的匀胶机-BQ-200灵巧型匀胶机具有的操作系统:4.3寸全彩触摸屏(配备触摸笔),简单易用、程控操作、自动点胶优异性价比及其适合放进手套向内使用。同时有效的避免了在匀胶旋涂过程中挥发性气体的扩散,有效的减小挥发性气体对实验操作人员的健康影响。
能放进手套箱的匀胶机-BQ-200灵巧型匀胶机手套箱安装图示: