流量范围

0.5SCCM-1000SLPM

可自行修改流量单位如kg/h、g/min等

标定气体

内置90条气体可选择

精度(调零后)

±(0.8%Rd+0.2%FS)

高精度(调零后)

±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM

重复性

±0.2%FS

漂移(零点/满量程)

0.02% F.S/ºC/Atm

工作范围

0.5-99%

响应时间

100毫秒(调整)

启动预热时间

1秒内

标准工况

25ºC & 14.696 psia，可自定义修改

工作温度范围

-10~-50℃(另有高温订制品)

工作湿度范围

0-99%RH(非冷凝)

工作压力

3Bar

安装方向

任意

阀门状态

常闭

材质

SUS302\303\304不锈钢、密封圈VITON

显示屏

背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度

数字信号

标准RS232

选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet

以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)

模拟信号

标准0-5V/1-5V/0-10V

选配:4-20mA

第二路模拟信号

标准0-5V/1-5V/0-10V

选配:4-20mA

电气接口

标准圆形8芯

选配:圆形6芯、DB9、DB15

供电电压

+24VDC

消耗电流

2SLPM以内：250mA

5SLPM以上：750mA

注：1000SLPM消耗2000mA电流

流量范围

10SCCM-100SLPM

精度

±0.75%Rd或±0.1%FS 取大值

高精度

±0.6%Rd或±0.1%FS 取大值

重复性

±(0.2%Rd+0.02%FS)

量程比

200:1(0.5-99%)

其他

1针(黑色)

4-20MA输出信号，如选择0-5V/10V 连接6针

2针(棕色)

不用连接,如选第二路 输出信号可接

3针(红色)

RS232 输入串口RS232 输入串口

4针(橘色)

模拟设定信号(订货时确认信号类型)

5针(黄色)

RS232 输出串口

6针(绿色)

0-5V或0-10V输出信号

7针(蓝色)

+24VDC供电

8针(紫色)

接地(同时作用于电源、通讯、模拟)

0.5-2SCCM

0.06

1/8NPT母螺纹

5-10SCCM

0.08

20SCCM

0.07

50-200SCCM

0.07

500SCCM

0.08

1SLPM

0.10

2SLPM

0.18

5SLPM

0.10

1/4NPT母螺纹

10SLPM

0.12

20SLPM

0.26

40SLPM

0.14

1/2NPT母螺纹

50SLPM

0.17

3/4NPT母螺纹

100SLPM

0.30

250SLPM

0.69

500SLPM

0.69

1000SLPM

1.65

2”NPT母螺纹