不同的废气排放场合和不同的废气，有不同的工艺流程。但是无论采取哪种工艺流程，都由如下工艺单元组成：

1、废气预处理装置

废气在进入反应之前必须进行预处理，这样做是为了避免催化剂床层的堵塞和催化剂中毒，除去废气中的粉尘、液滴以及催化剂的毒物。  

2、催化燃烧预热装置

预热装置包括废气预热装置和催化剂燃烧器预热装置。这样做是因为催化有催化活性温度，必须使废气和床层温度达到起燃温度才能进行催化燃烧，所以预热装置是必须要存在的。但是对于废气本身就比较高的气体是不需要预热装置的。如漆包线、绝缘材料、烤漆等烘干排气，温度可以达到300℃以上，则不必设置预热装置。在反应热能较大的场合，还需要设有热能回收装置，节约能源，二次利用。预热废气的热源温度一般都超过催化剂的活性温度。为保护催化剂，加热装置应与催化燃烧装置保持一定距离，这样还能使废气温度分布均匀。  从需要预热这一点出发，催化燃烧法于连续排气的净化，若间歇排气，不仅每次预热需要耗能，反应热也无法回收利用，会造成很大的能源浪费，在设计和选择时应注意这一点。 

3、催化燃烧核心系统

一般采用固定床催化反应器。反应器的设计按规范进行，应便于操作，维修方便，便于装卸催化剂。