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该产品主要用于太阳能光伏产业多晶硅、单晶硅、电子半导体、冶金、钢铁、有色冶炼、医药化工、电力环保等国家大中型企业的废气处理。
硅烷也称矽烷，是化学分子式为SiH4的一种化合物，该气体无色无臭，密度1.44克/升，熔点-185℃，沸点-111.8℃，不溶于水。在室温下硅烷是一种易燃的气体，在空气中无需加火源，硅烷就可以自燃，生成二氧化硅和水，并放出大量的热量，可被一般氧化剂氧化。
本燃烧塔采用燃烧洗涤法净化硅烷气体，它分别有一级燃烧塔和二级燃烧洗涤塔组成。
根据硅烷(矽烷)在空气中自燃的特性，特在燃烧塔中设置密闭燃烧室，为保证硅烷在燃烧室内充分燃烧，必须保证燃烧塔内负压，控制在-100Pa左右。
