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配备断面研磨能力达到500 µm/h*2以上的高效率离子枪。因此,即使是硬质材料,也可以高效地制备出断面样品。
断面研磨加工原理图
平面研磨(Flat Milling®)加工原理图
附冷却温度调节功能的IM4000PLUS
该功能可有效防止加工过程中,由于离子束照射引发的样品的温度上升,所导致样品的溶解和变形。对于过度冷却后会产生开裂的样品,通过冷却温度调节功能可防止其因过度冷却而产生开裂。
常温研磨
冷却研磨
项目 | 内容 | |
---|---|---|
IM4000PLUS | IM4000PLUS | |
断面研磨杆 | 平面研磨杆 | |
使用气体 | Ar(氩)气 | |
加速电压 | 0 ~ 6 kV | |
研磨速度(Si材料) | 500 µm/hr*1 以上 | - |
样品尺寸 | 20(W)× 12(D)× 7(H)mm | Φ50 × 25(H) mm |
离子束 间歇照射功能 | 标配 | |
尺寸 | 616(W)× 705(D)× 312(H)mm | |
重量 | 机体48 kg+回转泵28 kg | |
附冷却温度调节功能的IM4000PLUS | ||
冷却温度调节功能 | 通过液氮间接冷却样品、温度设定范围:0°C ~ -100°C | |
选项 | ||
空气隔离 样品夹持器 | 仅支持断面研磨夹持器 | - |
FP版断面研磨夹持器 | 100 µm/rotate*2 | - |
用于加工监控的显微镜 | 倍率 15 × ~ 100 × 双目型、三目型(支持CCD) |