激光干涉仪
1D激光主要可以测量定位误差和重复定位精度
3D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)
5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)、偏摆角、俯仰角和滚动角
在选择无线遥控传感器的情况下,测量距离可长达45米(80米可选)。
可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性。
设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架。集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间
5D/6D激光干涉仪是API的所有产品,一次安装能够同时测量线性轴的六个误差,包括1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差。在通常情况下需要数天时间进行的测试,使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成,实际应用结果表明,节省时间可达80%。该仪器体积小,重量轻,可以直接安装到机床导轨上。
测量仪配有自动气压、环境温度补偿器,自动校正环境变化对激光波长及长度测量的影响,测量仪还配有专门设计的多重数字滤波器,使由空气波动及温度梯度引起的测量误差降到非常小。
准确的数据采集 实时的误差测量确保了数据采集的正确性以及高精度的误差分析;自动的数据采集技术,简化了数据采集的过程。 | |
仪器的溯源性 API公司XD系列激光干涉仪的各项参数(线性、直线度、角度)都是溯源到国家和国际标准上的。这些精度都经过美国国家标准局(NIST),中国计量科学研究院和德国PTB等机构的检验。 |
连续生产和方案 为了避免突然停机、停产、API公司为现代化的机加工车间提供测量解决方案,也就是方案。 长期以来,车间管理人员一直以1D激光测量系统来绘制机床误差图及进行校准。所以想要测量完整的21项参数,则需要进行21到24次单独的安装调试,而且每一轴的每一次测量都需要1-2小时时间,因此,整个机床的测量过程通常占用两到三个工作日,这就使得机床长时间处于停工状态,严重影响了车间的利润率和生产能力。采用API公司XD Laser激光干涉仪就避免了上述缺陷,使得对机床的测量快捷、简便。 | |
XD Laser激光干涉仪的组成 XD Laser激光干涉仪是在LMS激光干涉仪的基础上进行了改进。将控制箱集成到激光里头,将原先的有线数据传输改成无线数据传输。因此,XD Laser激光干涉仪是有激光头、传感器、气象站、笔记本电脑和连接整个系统的电缆组成。 | |
携带方便,操作简单 全套系统重量仅为15千克,可以装入一个小型工具箱内。由于采用了紧凑型设计,XD Laser体积小,测量机床时无需使用三脚架。使测量基准与机床的加工基准保持一致,简化了测量程序(免拆机床护罩)。集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间,提高了机床使用效率。 | |
XL Laser激光干涉仪的具体应用
1. 在做不同轴向测量时,激光器不需重新装配,只需插入90度反光镜即可(见图1,2,3),使测量过程更加简便。
2. 测量坐标轴之间的垂直度时,只需要五角棱镜代替90度反光镜即可(见图5,6)。
3. 该设备还可以方便的测量机床导轨的平行度、平板的平面度,旋转工作台的角度以及对角线测量等(见图4,7,8,9)。
4. XD Laser激光干涉仪与角度仪配合使用(见图10)。
XD激光干涉仪的特殊之处 | | |
▶一次安装可测6个参数 ▶无线通讯系统 ▶高集成设计缔造的便携性 | ▶以太网连接 ▶自动实时环境温度补偿 ▶自带湿度传感器 | ▶实时数据显示 ▶快速安装调试 ▶紧凑型激光头设计 |
型号 | XD-1D一维型 | XD-3D三维型 | XD-5D五维型 | XD-6D六维型 |
功能 | 标准型 | 精密型 | 标准型 | 精密型 | 标准型 | 精密型 |
线性测量范围(m) | 45 | 40 | 45 | 45 | 40 | 45 | 40 |
线性精度(ppm) | 0.5 | 0.2 | 0.5 | 0.5 | 0.2 | 0.5 | 0.2 |
直线度测量精度(un) | N/A | N/A | (2.0+0.4/m) 或2%显示值 | (1.0+0.2/m) 或1%显示值 | (0.5+0.1/m) 或1%显示值 | (1.0+0.2/m) 或1%显示值 | (0.5+0.1/m) 或1%显示值 |
偏摆角和俯仰角精度(角秒) | N/A | N/A | N/A | (1.0+0.1/m) 或1%显示值 | (0.5+0.05/m) 或1%显示值 | (1.0+0.1/m) 或1%显示值 | (0.5+0.05/m) 或1%显示值 |
滚动角测量精度(角秒) | N/A | N/A | N/A | N/A | N/A | 1.0 或1%显示值 | 0.5 或1%显示值 |
垂直度测量精度(角秒) | N/A | N/A | (1.0+0.4/m) | (1.0+0.2/m) | (1.0+0.2/m) | (1.0+0.2/m) | (1.0+0.2/m) |
材料温度传感器精度(℃) | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
空气温度传感器精度(℃) | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.1 |
大气压力传感器精度(mm Hg) | 1.0 | 0.3 | 1.0 | 1.0 | 0.3 | 1.0 | 0.3 |