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罗茨真空泵的是在较低的入口压力时具有较高的抽气速率，但它不能单独使用，必须有一台前级真空泵串联，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许入口压力时，罗茨真空泵才能开始工作，并且在一般情况下，罗茨真空泵不允许高压差工作，否则将会过载和过热而损坏，因此使用罗茨真空泵必须合理地选用前级真空泵，安装必要的保护设备。
前级真空泵一般可选择油封机械泵或液环真空泵，特别在抽除有大量水蒸汽的气体时，选用水环真空泵作为前级泵是很理想的。
| 型号 | ZJ-30 | ZJ-70 | ZJ-150 | ZJ-300 | ZJ-600 | ZJ-1200 | ZJ-2500 | ZJ-5000 | |
| 抽速（L/s） | 30 | 70 | 150 | 300 | 600 | 1200 | 2500 | 5000 | |
| 极限压力（Pa） | 5×10-2 | 5×10-2 | 5×10-2 | 5×10-2 | 5×10-2 | 5×10-2 | 5×10-2 | <1×10-1 | |
| 转速（r/min） | 2770 | 2870 | 2900 | 1450 | 2900 | 1450 | 2900 | 1800 | |
| 口径（mm） | 进口 | 50 | 80 | 100 | 150 | 150 | 300 | 300 | 500 |
| 出口 | 40 | 50 | 100 | 150 | 150 | 300 | 300 | 350 | |
| 重量（kg） | 75 | 100 | 215 | 480 | 503 | 1580 | - | - | |
| 配用电机功率（kW） | 0.75 | 1.5 | 3 | 4 | 5.5 | 11 | 18.5 | 55 | |
