膜厚测量椭偏仪

膜厚测量椭偏仪

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2022-12-10 15:51:48
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南京盈波光电科技有限公司

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膜厚测量椭偏仪

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型号: Smart SE                                                                                        
厂家:HORIBA Jobin Yvon
产地:法国
技术指标:
 光谱范围:450-1000nm
· 多种微光斑自动选择,精度〈1nm
· 光斑可视技术,可观测任何样品表面
· CCD探测器
· 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向
· 自动调节; Z轴高度>35mm
主要功能及应用范围:测试各种透明薄膜膜厚。
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