Shibuya SLA2021雷射剥离加工机
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所在地
分类 | 项目 | 规格 | 备注 |
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加工平台 | 行程 | 400×400mm | 滚珠螺杆驱动 |
加工范围 | 400×400mm | ||
速度 | 250mm/sec | 15000mm/min | |
Z轴 | 行程 | 150mm | |
速度 | 200mm/sec | 12000mm/min | |
外形 | 设置空间 | 1500×1500×2200mm | 可用电梯搬送 |
重量 | 搬送 | 1900Kg | |
定位 | 10μ以下 0.05μm | 搭载光学尺 | |
控制装置 | 定位(无轮郭指令) | 搭载Pitch误差补正功能 | |
图像处理 | 相机2式 | 加工行程全局检测 | 200万画素、黑白 |
出力监视器1 | 检查雷射输出 | 于雷射发振器出口来计测 |
分类 | 项目 | 规格 | 备注 |
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高度检测传感器 | 雷射传感器 | 检测薄膜材料高度用 | |
观察监视器 | CCD监视器 | 检视加工点周遭 | |
出力监视器2 | fΘLens之后的输出测定 | 检测薄膜材料高度用 | |
集尘装置 | 2.2KW集尘机 | PushPull方式 | |
自动化对应 | 个别对应 |
分类 | 项目 | 规格 | 备注 |
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高度检测传感器 | 雷射传感器 | 检测薄膜材料高度用 | |
观察监视器 | CCD监视器 | 检视加工点周遭 |