台式扫描电子显微镜（Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM）,又俗称“桌上型扫描电镜”或“Mini SEM”，相较于传统大型SEM（落地式），台式SEM具有体积小巧、操作简便、价格便宜、快速抽真空等优势，而且它的放大倍数可高达100,000倍以上。此类新型仪器的出现光学显微镜与落地式SEM之间的空白区域，可广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、食品药品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。

组成：

真空系统：一般采用机械泵与分子泵联动

电子枪：一般为CeB6（ 六硼化铈）或钨灯丝，其中钨灯丝的寿命较短，仅为40-100小时，需频繁更换，CeB6灯丝寿命超过1500小时，且亮度更高。目前尚没有采用 场发射（Field Emission）的台式扫描电镜。

电磁透镜

探测器： 背散射电子或二次电子探测器，可选配EDS

特点：

放大倍数高（相对光学显微镜）

成像速度快

大景深

体积小巧

操作简便

价格便宜

应用：

台式扫描电镜可以满足绝大多数传统SEM用户的需求，其应用领域极其广泛，包括：粉末、金相、制药、造纸、半导体、微电子、生命科学 ……