Verios XHR SEM

 

Verios 是 FEI 的 XHR（高分辨率）SEM 系列的第二代产品。在半导体制造和材料科学应用中，它可在 1 至 30 kV 范围内提供亚纳米量级分辨率以及增强的对比度，满足材料精密测量所需，同时又不会削弱传统扫描电子显微镜 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、样本灵活性和易用性等优势。

 

Verios 的材料科学应用

 

对材料科学家来说，Verios 可以将亚纳米表征拓展到当下正在开发的全新材料（例如催化剂颗粒、纳米管、孔隙、界面、生物对象和其他纳米量级结构），从而让他们获得重要的新发现。无需转而采用 TEM 或其他成像技术便可获得高分辨率、高对比度图像。Verios 可灵活用于各类研究应用，能够容纳全尺寸晶圆或冶金样本之类的大样本。您可以在高电流模式下执行快速分析，也可以开展精确的原型设计应用，例如电子束感应式材料直接沉积或光刻。

 

出色的低电压 SEM 分辨率和材料对比度

 

Verios 旨在增加您实验室的可发表成果。Verios 可以将 500 eV 到 30 keV 完整能量范围内的亚纳米级分辨率扩展到新型材料（例如催化剂颗粒、纳米管、孔隙、界面、生物对象和其他纳米量级结构）。无需转而采用 TEM 或其他成像技术便可获得高分辨率、高对比度图像。Verios 可灵活运用于各类研究应用，能够容纳全尺寸晶圆或冶金样品之类的大样品。您可以在高电流模式下执行快速分析，也可以开展精确的原型设计应用，例如电子束感应式材料直接沉积或光刻。

 

探索高分辨率 SEM 呈现的世界 

Verios 是 FEI 的 XHR SEM 系列的第二代产品，通过 1 到 30 kV 能量范围的亚纳米级分辨率来提供准确成像。它能够在多种应用领域内提供精确测量材料所需的出色对比度，而不影响高通量、分析功能、样品灵活性和传统 SEM 的易用性。Verios 具备技术，例如可提高热稳定性的恒功率镜头以及可提高偏转线性的静电扫描。在选择参数、处理大样品或支持更多应用（如分析或光刻）方面，它非常灵活。借助 Verios XHR SEM，无论是临时用户还是专家，都能在短时间内获得准确、完整的纳米量级数据，发现以前使用其他技术时无法获得的信息。