产品介绍：

名 称：安赛斯可编程匀胶机HC220SE

型 号：HC220SE

原产地：

应 用：HC220SE高精度匀胶机，采用高级PLC 模块，工业级伺服电机，全自动程序控制，转速精度高，稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。

产品概述：

　　HC220SE高精度匀胶机，采用高级PLC 模块，工业级伺服电机，全自动程序控制，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。
　　工业级别200瓦伺服电机系统，采用与track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中的达到50000RPM/S的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和的可重复性。

性能参数：

• 适用晶元尺寸范围：Ø5~220mm；
• 旋涂速度：0~10000rpm；
• 转速分辨率：1rpm；
• 旋涂加速度：0-50000rpm/s（空载）；
• 旋涂时间：3000s；
• 旋涂时间精度：0.1s；
• 内腔壁采用的凹面防溅设计；
• 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂，可编程100组程序，每组程序100步；
• 均匀性：<±3%(需去边3mm区域测量)；
• 电源输入：AC200-230V；

产品特点：

• 采用高级PLC模块，工业级伺服电机；8英寸彩色触屏控制，人机界面；

• HDPE高分子内腔，耐腐蚀，易清洁，带排废功能；内腔壁采用的凹面设计，有效防溅；

• 可编程写和存储100组程序，每组100步；

• 带真空度安全互锁检测功能；带盖子安全互锁检测功能；带排废接口；

• 具有电机进胶保护功能；管路易疏通设计；具有真空不足提示及保护功能，具有断电后参数自动保存功能。

• 正、反转旋涂方向可自由切换；旋涂参数可设置循环执行；速度-时间曲线实时显示；

• 可设置用户密码保护功能；配置可调基座，方便调节水平；

HDPE高分子耐腐蚀内腔

8英寸彩色触摸屏人机界面

产品外型尺寸：
444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)

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