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高精度光学材料的应力双折射测量
可通过自动拼接测量大口径光学窗口
测量速度快,空间分辨率高
可以测量浸没于折射率液中的大尺寸样品
主机口径:Ø115 mm
单口径测量时间:10 sec
空间分辨率:0.08 mm
被测样品尺寸:500 mm x 600 mm
子孔径测量次数:7 x 7 (max.)
拼接测量时间:< 15 min
设备形式:光轴水平设计
光源:单LED准直光源,波长625±10 nm
负荷:500 kg(包括样品台)
探测器像素:1200 x 1000 pixels
通光口径:89 mm x 74 mm ,单次测量时间<10 sec 可自动拼接测试
运动行程:水平方向:600 mm,垂直方向:500 mm
样品尺寸:长:600 mm;宽:500 mm;厚:200 mm
样品形状:表面平行且抛光, 直接透过率>50% @610...640nm
双折射测量范围:0-100 nm
空腔基线稳定性(值的标准差):≤0.05 nm
重复性:CaF2标样重复12次测量值的标准差 ≤0.05 nm