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无接触少子寿命扫描仪-产品特点
■ 无接触和无损伤测量
■ 自动测量,具有传送系统,可进行连续测量
■ 快速测量,测试扫描速度达到2000mm/min
■ 测试范围广:包括硅块、硅棒、硅片等少子寿命测量
■ 主要应用于硅棒硅块、硅片的进厂、出厂检查,生产工艺过程中重金属沾污和缺陷的监控等
■ 性价比高,*程度地降低了企业的测试成本
无接触少子寿命扫描仪-*工作条件
■ 温度:18-26℃
■ 湿度:10%~80%
■ 大气压:750±30毫米汞柱
-技术指标
■ 少子寿命测试范围:0.5μs-300μs
■ 测试扫描速度:2000mm/min
■ 测试尺寸:215mm*215mm*400mm
■ 电阻率范围:
P型:0.8Ω.cm-100Ω.cm(范围之外可测量,但将有一定测试偏差)
N型:0.5Ω.cm-100Ω.cm(范围之外可测量,但将有一定测试偏差)
■ 激光波长:980±30nm,测试功率范围:50-500mw
■ 硅棒硅块扫描间距:≥1mm
■ 仪器测试精度:±3.5%,信号处理偏差≤2%
■ 工作频率:10GHz±0.5
■ 微波测试单元功率:0.01W±10%
■ 电源:~220V 50Hz 功耗<200W
■ 主机尺寸:365mm * 645mm *565mm
■ 主机重量:30KG