光谱椭偏仪 - 产品特点

■ 连续波长的光源为用户提供了更大的应用空间
■ 更简便快捷的样品准直方法
■ 软件具备丰富的材料数据库
■ 允许用户自定义色散模型，更方便用户研究新材料的光学性质
■ 全波长多角度同时数据拟合，EMA模型用户多成分化合物和表面粗糙度分析
■ 具有实验数据和模拟数据三维绘图功能
■ 光谱范围宽达250 - 1100nm （可扩展至250-1700nm）
■ 功能强大的光谱椭偏测量与分析软件



光谱椭偏仪 - 技术指标

■ 光源：氙灯
■ 光斑直径：1-3mm
■ 入射角范围：20°到90°,5°/步
■ 波长范围：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°
■ 波长精度：1nm
■ 测量时间: < 8s （取决于测量模式和粗糙度）
■ 样品尺寸: 125x125mm 156x156mm,200x200mm电池片, 其他尺寸
■ 测量精度：0.02nm
■ 折射率：0.0002, 100nmSiO2 on Si 
■ 厚度测量范围：0.01nm ~ 50um
■ 消光比：10^-6