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| 功能 | 流量计/控制器 | |
| 基本型号 | LF400-S | |
| 满量程流量范围(N2) | SCCM | 0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
| SLM | 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
| 精度(％F.S) | ±1(≤15SLM) | |
| ±2(＞15SLM.) | ||
| 控制阀动作型式 | 常闭式 | |
| 线性(％F.S.) | ±0.5～1(≤15SLM) | |
| ±2％(＞15SLM.) | ||
| 重复精度(％F.S.) | ±0.2 | |
| 响应时间(sec) | ≤1 | |
| 流量输出信号 | 0-+5.00V | |
| 流量设定信号 | 0-+5.00V | |
| 电器接头 | DB15 pin(接头) | |
| 工作环境温度 | (℃) | 5～45 |
| 工作压差 | (MPa) | 0.1～0.5 |
| 漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
| 耐压 | 3MPa | |
| 介质接触材质 | 304，316，316L | |
| 密封材料 | 氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯 | |
| 接头 | VCR " 1/4、1/2 | |
| Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
| 接头和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm | |
| 1/4"VCR:127×28×100mm | ||
| 电源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
| 重量 | 0.75KG | |
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| 输出电源 | +15V±5% 500mA -15V±5% 500mA |
| 基准源 | +5.00V±0.1％ 5mA |
| 供电电源 | 8VDC-24VDC，50Hz±5% |
| 输入输出信号 | 电压信号0-5V，电流信号4-20mA |
| 外形尺寸 | 96×96×125mm |
| 显示器 | 128×64点阵式液晶，高亮度宽温（-20~70℃）液晶屏，画面清晰LED背光 |
| 功耗 | 8w |
| 控制通道 | 单路控制显示 |
| 基本误差 | ±0.2%FS |
| 环境温度 | 0-50℃ |
| 环境湿度 | 0-85%RH |
| 防护等级 | IP40 |
