仪器简介：

　　20多年技术积累和发展的结晶,是一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型。即使在透明的基底上也能对超薄膜进行确的测量。采用PEM相位调制技术，与机械旋转部件技术相比,能提供更好的稳定性和信噪比。

技术参数：

可选光谱范围：

　　* UVISEL Extended Range(190nm -2100 nm)

　　* UVISEL NIR (250 nm -2100 nm )

　　* UVISEL VIS (210 nm -880 nm )

　　* UVISEL FUV(190 nm -880 nm )

　　* UVISEL VUV(142 nm -880 nm )

　　* 多种实用微光斑尺寸选项

　　* 探测器：分别针对紫外，可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器

　　* 自动样品台尺寸：多种样品台可选

　　* 自动量角器：变角范围35° - 90°，全自动调整，最小步长0.01°

主要特点：

　　* 50KHz 高频PEM 相调制技术，测量光路中无运动部件

　　* 具备超薄膜所需的测量精度，超厚膜所需的高光谱分辨率

　　* 具有毫秒级超快动态采集模式，可用于在线实时监测

　　* 自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等多种附件

　　* 配置灵活