拔插式四探针头技术指标
1、 游移率
B级…………… ＜0.5%
*……………＜0.3%
A*………… ＜0.2%
2、 间距偏差
B级…………… ＜3%
*…………… ＜2%
A*………… ＜2%
3、 zui大针与导孔间隙：0.006mm
4、 探针材料：进口硬质合金或高速钢
5、 探针压力 标准压力：4—10N（4根针总压力）
1牛顿（N）=101.97克
6、 针尖压痕直径：25—100μｍ、100—250μｍ（簿层）
7、 500V绝缘电阻：＞1000MΩ
拔插式四探针头适用范围：
1、 测量硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率，测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻。
2、 测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻。
